In der 300-mm-Serie reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad während des Trocknungsprozesses aus, um gute Produkte in wertlose Abfälle zu verwandeln. Das Einhalten strenger Toleranzen beim Scanner allein löst dieses Problem nicht. Der Trocknungsprozess muss selbst eine ausreichende Genauigkeit aufweisen.
Wir haben eine Infrarotlampe mit integrierter Luftscheibe entwickelt, um die beiden größten Probleme zu bekämpfen: thermische Abweichungen und Kontaminationen. Beides beeinträchtigt die Wiederholgenauigkeit – noch bevor man es überhaupt anhand der Messdaten erkennen kann.
Was wirklich wichtig ist Die Anlage kombiniert einen Kurzwell-Infrarotstrahler mit einer Luftscheibe, die direkt daneben angeordnet ist. Die Lampe heizt schnell und gezielt auf – dabei wird eine präzise Kontrolle des Spektrums gewährleistet. Dadurch bleiben thermische Abweichungen unter Kontrolle.
Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche wird auf ±0,1 °C gehalten. Wir überprüfen dies durch lokale Messungen – nicht durch Extrapolationen anhand eines einzigen Sensors. Die Luftscheibe sorgt für einen laminaren Luftstrom, der Partikel und Feuchtigkeit von der Oberfläche entfernt. Dadurch bleiben die Partikelzahlen im Bereich von Klasse 1–100.
Das Ergebnis ist eine stabile thermische Bedingung sowohl beim weichen als auch beim harten Trocknungsprozess, eine konstante Kontrolle der kritischen Abmessungen sowie weniger Nacharbeiten.
Warum das in der Lithografie funktioniert Die Verarbeitung des Fotoleiters ist sehr anspruchsvoll – sie ist empfindlich gegenüber Temperaturschwankungen und Luftschadstoffen. Diese Anlage erreicht schnell die gewünschte Temperatur, dadurch wird die Standby-Zeit reduziert und das Trocknungsprofil bleibt konstant.
Alle Materialien sind für die Verwendung in Reinräumen geeignet, und der Luftweg ist dicht abgeschlossen – dadurch entstehen keine Ausgasungen oder Partikelaustritte. Der Energieverbrauch ist geringer als bei Konvektionsöfen, da die Energie direkt in den Film gelangt, nicht in die Wände der Heizkammer.
Die Zuverlässigkeit liegt in der Betriebszeit. Die Anlagen können mehr als 5.000 Stunden lang betrieben werden, ohne dass es zu mehr als 5 % Leistungsverlusten kommt. Dadurch kann die Anlage rund um die Uhr ohne ungeplante Stopps arbeiten.
Praktische Details, die man nicht ignorieren darf Für die Installation ist eine separate Abluftanbindung erforderlich. Zudem muss die Qualität der Luftzufuhr überprüft werden. Wenn die Filtration unzureichend ist, werden weitere Partikel in die Kammer gelangen.
Die Lampe funktioniert am besten, wenn es eine klare Sichtlinie zum Wafer gibt. Achten Sie daher auf die Geometrie rund um die Prozesskammer.
Stellen Sie den Druck der Luftscheibe innerhalb des zulässigen Bereichs ein. Zu hoher Druck kann den Fotoleiter stören; zu niedriger Druck führt dazu, dass Partikel nicht entfernt werden. Passen Sie außerdem das Spektrum des Strahlers an das Absorptionsprofil des Fotoleiters an – so wird die bestmögliche Gleichmäßigkeit erreicht.