Auf der Verpackungsebene reicht bereits eine Temperaturänderung von 0,3 °C während des Trocknungsprozesses aus, um die Toleranzen zu überschreiten und die Wafern unbrauchbar zu machen. Deshalb haben wir unsere Mini-LED-Chip-Verpackungslampe entwickelt, um diese Temperaturschwankungen bereits an der Quelle zu beseitigen – damit die Temperatur immer im gewünschten Bereich bleibt, Schicht für Schicht.
Was technisch wirklich wichtig ist: Wir kombinieren NIR-optimierte Mini-LED-Emitter mit einem Quarzdiffusionsfenster. Dadurch wird eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C in der Aktivzone erreicht. Die Temperaturgenauigkeit bleibt bei jedem Trocknungsprozess bei ±0,2 °C – dadurch bleiben die Trocknungsprofile stabil und die kritischen Abmessungen unter Kontrolle.
Die Lampe ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet: Sie verwendet Materialien mit geringer Gasemission sowie einen laminaren Luftstrom, der während des Betriebs eine Partikelbildung verhindert. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5 % Intensitätsabfall. Dadurch kann die Wartung verzögert werden, ohne dass die Produktionsqualität beeinträchtigt wird.
Warum das bei der Verpackung von Mini-LED-Chips funktioniert: Es ist notwendig, dass die Wärme genau dort ankommt, wo sich die Bond-Pads und der Überzug befinden – ohne dass benachbarte Strukturen beeinträchtigt werden. Diese Lampe konzentriert das Wärmefeld auf das Zielgebiet. Dadurch entfällt eine größere thermische Belastung auf den entsprechenden Bereich, und der Energieverbrauch sinkt um bis zu 25 % im Vergleich zu herkömmlichen Halogenlampe.
Das bedeutet schnellere Temperaturanpassungen, präzisere Steuerung der Trocknungsparameter sowie weniger Nacharbeiten. Auf der Seite der Lithografie und des Photoresists bedeutet das eine zuverlässige Trockenleistung – höhere Ausbeute und weniger Stillstandzeiten.
Praktische Details: Die Lampe benötigt eine spezielle 24-V-DC-Stromversorgung sowie einen 3-poligen Anschluss für eine geschlossene Temperatursteuerung. Die Integration in die meisten Verpackungsmaschinen ist einfach möglich – doch die Ausrichtung muss präzise erfolgen: Der Abstand zwischen dem Emitter und dem Substrat sollte bei ±0,25 mm liegen. Planen Sie außerdem einen kurzen Testbetrieb, um die Einstellungen zu justieren.
Und obwohl das Design dazu beiträgt, Partikelbildung zu minimieren, muss die Lampe dennoch im vorgegebenen Luftstrom- und Temperaturbereich betrieben werden, um weiterhin eine leistungsstarke Funktion zu gewährleisten.