Bei der Verarbeitung mit einer Wellenlänge von 300 mm reicht bereits eine Temperaturverschiebung von einem halben Grad während des Weichbrennvorgangs aus, um die geforderten Kriterien bezüglich der kritischen Abmessungen nicht zu erfüllen – und dadurch viele Wafer als Schrott zu verschwenden. Die ultrareinen Wasserverwärmungslampen sind keine Zusatzkomponenten; sie bilden vielmehr die Grundlage für eine konstante Temperatur im Bereich der Reinräume der Klassen 1–100.
Wir haben die Lampe so konstruiert, dass sie kurzwelliges Infrarotlicht verwendet – dieses passt perfekt zur Absorption durch Wasser. Dadurch wird eine schnelle Erwärmung des Wassers ohne Hotspots erreicht. Die thermische Homogenität bleibt dabei bei ±0,1 °C – das macht die Brennvorgänge wiederholbar und zuverlässig. Die Konstruktion aus Quarz sowie korrosionsbeständigen Elementen sorgt dafür, dass es zu keiner Partikelbildung kommt, und ermöglicht außerdem eine kontinuierliche Nutzung unter Bedingungen von hochreinem Wasser.
Die Leistung der Lampe bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5 % Intensitätsabfall. Die Lampe ist für eine 24/7-Nutzung konzipiert, wodurch es zu keinen unplanmäßigen Ausfällen kommt.
In der Lithografie erfordern sowohl der Weich- als auch der Hartbrennvorgang eine präzise Temperaturkontrolle. Diese Lampe sorgt dafür, dass die Temperatur des Wassers innerhalb der zulässigen Grenzen bleibt – Cycle für Cycle. Dadurch wird eine zuverlässige Kontrolle der kritischen Abmessungen gewährleistet, es fallen weniger Nachbearbeitungen an, und der Schrottaufwand nimmt ab.
Außerdem sinkt der Energieverbrauch. Das kurzwellige Infrarotlicht wird nur dann eingesetzt, wenn es benötigt wird – es entstehen also keine unnötigen Verluste. Zudem sorgen die langen Wartungsintervalle dafür, dass die Wartungsarbeiten einfach durchführbar bleiben.
Praktisch gesehen ist die Lampe kompakt und muss auf die richtige Position im Flussweg des Wassers eingestellt werden. Zudem muss sie regelmäßig gewartet werden. Man sollte nicht davon ausgehen, dass die Lampe direkt in bestehende Anlagen eingebaut werden kann – es ist daher ratsam, die Integration vorher genau zu überprüfen.
Überprüfen Sie die Leitfähigkeit des Wassers, den Durchfluss sowie die Kompatibilität der Anschlüsse. Wenn all diese Faktoren stimmen, dann ist die benötigte Reproduzierbarkeit bereits in der Lampe integriert – man muss nichts extra tun.