Ở dải công suất 300mm, mức chênh lệch nhiệt độ chỉ cần 0,5 độ trong quá trình nung ướt cũng đủ khiến các thông số kỹ thuật liên quan đến kích thước của wafer vượt ra khỏi giới hạn cho phép – điều này dẫn đến việc phải vứt bỏ rất nhiều wafer không thể sử dụng được. Những bóng đèn sưởi bằng nước siêu tinh khiết này không phải là thiết bị phụ; chúng chính là yếu tố quan trọng giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong các phòng sạch loại 1–100.
Chúng tôi thiết kế bóng đèn này dựa trên nguyên lý tia hồng ngoại bước sóng ngắn (SWIR), vì nguyên lý này giúp nước hấp thụ nhiệt nhanh chóng mà không tạo ra những điểm nóng. Độ đồng đều về nhiệt độ trong toàn bộ dòng chất lỏng được duy trì ở mức ±0,1°C, giúp cho quy trình nung diễn ra ổn định từ lần này sang lần khác. Cấu trúc của bóng đèn gồm thạch anh và các linh kiện chống ăn mòn, giúp loại bỏ hoàn toàn sự hình thành các hạt bẩn, đồng thời chịu được điều kiện tiếp xúc liên tục với nước siêu tinh khiết.
Hiệu suất hoạt động của bóng đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với mức suy giảm cường độ ánh sáng dưới 5%. Thiết kế này được tạo ra để hoạt động 24/7, giúp tránh mọi sự gián đoạn không mong muốn trong quá trình sản xuất.
Trong quy trình in ấn, cả quy trình nung ướt lẫn nung cứng đều đòi hỏi mức kiểm soát nhiệt độ chính xác. Bóng đèn này giúp duy trì nhiệt độ ổn định cho wafer, giúp kiểm soát kích thước của wafer một cách chính xác từ lần này sang lần khác. Điều này giúp giảm số lần phải làm lại sản phẩm và giảm lượng wafer bị vứt bỏ.
Mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm đi. Với nguyên lý tia hồng ngoại bước sóng ngắn, nhiệt độ được tạo ra chỉ khi cần thiết, do đó không có sự lãng phí năng lượng. Thời gian sử dụng lâu cũng giúp việc bảo trì trở nên dễ dàng hơn.
Điểm tích cực của bóng đèn này là kích thước của nó khá nhỏ, và nó cần được đặt đúng vị trí trong hệ thống dẫn chất lỏng, đồng thời cần được bảo trì định kỳ. Đừng nghĩ rằng nó có thể được lắp đặt ngay lập tức vào các hệ thống hiện có – hãy kiểm tra kỹ lưỡng trước khi lắp đặt.
Hãy kiểm tra độ dẫn điện của nước, tốc độ dòng chảy và tính tương thích của các đầu nối. Khi những yếu tố này được đảm bảo, tính ổn định trong quá trình nung sẽ được đảm bảo, và bạn không cần phải lo lắng về việc điều chỉnh nhiệt độ sau này nữa.