Trong quy trình sản xuất, việc kiểm soát nhiệt độ trong quá trình in ấn bắt đầu từ các bước sấy ấm và sấy nóng. Sự chênh lệch nhiệt độ 1,5°C, hoặc sự xuất hiện của những vùng có nhiệt độ thấp trên tấm wafer, có thể làm thay đổi nhanh chóng các kích thước quan trọng của tấm wafer. Điều này khiến toàn bộ lô sản phẩm bị hỏng, và quy trình sản xuất bị gián đoạn.
Chúng tôi đã thiết kế những chiếc đèn hồng ngoại dùng để xử lý chất phủ trên tấm wafer, nhằm duy trì mức nhiệt ổn định trong suốt quá trình sản xuất.
Điều quan trọng nhất là khả năng kiểm soát nhiệt độ ở cấp độ tấm wafer. Nguồn ánh sáng hồng ngoại ngắn sóng của chúng tôi giúp truyền năng lượng vào chất phủ một cách nhanh chóng, đồng thời giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt tấm wafer ở mức ±0,1°C. Thân đèn được làm từ thạch anh, kết hợp với các bộ phản xạ có độ tinh khiết cao; do đó, đèn hoạt động hiệu quả trong môi trường có tiêu chuẩn Class 1–100, mà không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào.
Mức độ lặp lại của kết quả sản xuất luôn ở mức dưới 0,5%, và hệ thống điều khiển vòng khép kín giúp duy trì mức nhiệt ổn định theo mức đã thiết lập – không có sự sai lệch nào xảy ra.
Lý do tại sao phương pháp này hiệu quả là vì nó tuân thủ các tiêu chuẩn nhiệt độ quốc tế dành cho thiết bị sản xuất bán dẫn. Nhờ đó, chúng ta có thể kiểm soát chặt chẽ các kích thước của tấm wafer, giảm số lần phải tái xử lý, và giảm lượng sản phẩm hỏng.
Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì đèn chỉ làm nóng chất phủ trên tấm wafer, chứ không phải toàn bộ buồng sản xuất. Chúng tôi đã sử dụng những chiếc đèn này trong hơn 5.000 giờ, và mức độ giảm hiệu suất sản xuất chỉ khoảng 5%, điều này giúp duy trì sự ổn định trong quy trình sản xuất.
Một vài lưu ý thực tế: chiếc đèn này tương thích với các giao diện tiêu chuẩn của SEMI và các quy trình in ấn thông thường. Tuy nhiên, việc tích hợp nó vào hệ thống sản xuất vẫn cần được chú ý kỹ lưỡng – yếu tố về khối lượng nhiệt của các bộ phận trong hệ thống và đường dẫn khí cũng rất quan trọng.
Hãy lên kế hoạch thực hiện một quy trình kiểm tra ngắn để điều chỉnh các thông số nhiệt độ phù hợp với loại chất phủ mà bạn sử dụng. Một khi các thông số đã được thiết lập ổn định, quy trình sản xuất sẽ diễn ra thuận lợi.