Trong quy trình sản xuất, việc sử dụng bóng đèn có khả năng kiểm soát nhiệt độ không chỉ là một bước quan trọng trong quy trình, mà còn là yếu tố then chốt để đảm bảo chất lượng của toàn bộ quy trình lithography. Ngay cả sự thay đổi nhiệt độ khoảng 0,5°C trên bề mặt wafer cũng có thể khiến quy trình kiểm soát độ dày đường kẻ bị ảnh hưởng. Điều này dẫn đến sự biến đổi về độ dày đường kẻ, và chất lượng sản phẩm sẽ bị giảm sút đáng kể. Các loại bóng đèn do nhà sản xuất cung cấp có thể tạo ra nguồn năng lượng cần thiết, nhưng chỉ có những bóng đèn được thiết kế riêng mới có thể đảm bảo tính ổn định cần thiết cho quy trình.
Những yếu tố quan trọng cần lưu ý Các bóng đèn thay thế của chúng tôi được thiết kế dành cho các nguồn nhiệt từ loại halogen và quartz, với bước sóng ngắn và trung bình phù hợp với đặc tính hấp thụ ánh sáng của chất phủ trên wafer. Chúng tôi đảm bảo rằng nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, và độ ổn định của nguồn nhiệt đạt mức 0,3% trong suốt thời gian sử dụng. Hình dạng và kết nối của bóng đèn cũng được kiểm soát chặt chẽ để đảm bảo sự phối hợp tốt giữa bóng đèn và buồng xử lý, từ lần này sang lần khác.
Tại sao điều này lại quan trọng trong môi trường phòng sạch? Quy trình sản xuất diễn ra trong các phòng sạch loại 1–100, nơi mà số lượng hạt bụi không chỉ là một chỉ số, mà còn là yêu cầu bắt buộc. Các bóng đèn này được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động, đồng thời lớp vỏ quartz được chọn để chống lại hiện tượng biến đổi cấu trúc vật liệu ở nhiệt độ cao. Kết quả là quy trình sản xuất diễn ra một cách ổn định, từng ngày một. Chúng tôi đã ghi nhận thời gian hoạt động trung bình của bóng đèn lên đến 5.000 giờ, với mức suy giảm hiệu suất dưới 5%, điều này giúp giảm thiểu các sự cố bất ngờ và đảm bảo chất lượng sản phẩm ổn định.
Một vài lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng tình trạng của bộ phản xạ ánh sáng trong buồng xử lý và dòng chảy của chất làm mát đều ảnh hưởng trực tiếp đến sự phân bố nhiệt độ. Hãy kiểm tra mức độ kết nối nhiệt và hiệu chuẩn máy đo nhiệt sau mỗi lần thay thế bóng đèn để đảm bảo độ chính xác. Ngoài ra, mặc dù bóng đèn này có thể hoạt động tốt với hầu hết các buồng xử lý do nhà sản xuất cung cấp, nhưng bạn vẫn cần kiểm tra điện áp và cấu hình cơ bản của bóng đèn để tránh các vấn đề liên quan đến việc lắp đặt.