Ra ngoài sàn fab, bạn biết quy trình diễn ra như thế nào—nửa độ lệch trong quá trình nung photoresist có thể làm thay đổi chiều rộng đường, tiêu tốn ngân sách CD của bạn và biến rất nhiều wafer thành phế liệu. Đèn hồng ngoại công suất lớn trong fab không chỉ là những bộ phận sinh nhiệt. Chúng là nền tảng cho phép đo nhiệt độ trong các đường coat/bake và các mô-đun chữa trị.
Điều gì quan trọng bên trong
Chúng tôi chế tạo đèn hồng ngoại sóng ngắn dựa trên độ ổn định của thạch anh-halogen và phản ứng nhanh, vì vậy bạn có được độ đồng nhất ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C trên toàn bộ bề mặt nung. Vỏ đèn tương thích với phòng sạch cho Class 1–100, sử dụng các vật liệu phát thải thấp và cấu trúc kín giúp giữ cho số lượng hạt không tăng lên. Khi bạn vận hành các stack lithography và resists mỏng, việc không tạo ra hạt là điều bắt buộc—không phải là tùy chọn.
Khả năng lặp lại đầu ra giữ chặt trong suốt thời gian hoạt động, và hồ sơ quang phổ được điều chỉnh để phù hợp với sự hấp thụ của photoresist. Điều này cho bạn sự nung nóng đồng đều mà không có điểm nóng.
Tại sao điều này quan trọng trong thực tế
Trong quá trình xử lý photoresist, quá trình nung mềm thiết lập việc loại bỏ dung môi và căng thẳng của film, trong khi quá trình nung cứng khóa hình ảnh trước khi khắc. Đạt được độ chính xác này giúp bạn giảm thiểu công việc sửa chữa, giảm phế liệu và thu hẹp khoảng cửa quy trình. Bạn sẽ có kiểm soát CD chặt chẽ hơn, biên độ overlay lớn hơn và năng suất đồng nhất từ lô này sang lô khác.
Mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm. Thời gian ổn định nhanh và quy định chặt chẽ giảm thời gian ngâm và ngăn chặn hiện tượng quá nhiệt lãng phí năng lượng. Đối với các mua bán số lượng lớn, các hình dạng tiêu chuẩn hóa đơn giản hóa chiến lược dự trữ của bạn trên nhiều đường—ít bất ngờ hơn, ít công sức bảo trì hơn.
Dưới đây là những chi tiết giúp bạn tránh rắc rối
Bạn cần phải phù hợp đèn với hình học phản xạ và điện áp. Các phản xạ không khớp sẽ hiện lên dưới dạng không đồng nhất vòng, rõ ràng như ban ngày.
Sau khi khởi động, hãy cho đèn thời gian ổn định nhiệt, và giữ khoảng thời gian hiệu chỉnh đồng bộ với chương trình SPC của bạn. Tuổi thọ của đèn dài, nhưng sự chu kỳ nhiệt gây căng thẳng cho các dây tóc—giữ cho các hồ sơ nung ổn định và tránh chu kỳ điện năng mà bạn không cần.