Чому ми відмовляємося від використання примусової циркуляції повітря на користь інфрачервоних обігрівачів у чистих кімнатах
Більшість заводів з виробництва напівпровідників все ще використовують печі з примусовою циркуляцією повітря. Це старий спосіб: спочатку нагрівається повітря, а потім сподіваються, що саме це повітря нагріє деталь. Проблема полягає у тому, що цей процес займає багато часу. Крім того, у чистій кімнаті переміщення великих об’ємів повітря означає приваблення пилу. Чим більше повітря циркулює, тим більше шансів, що частинки пилу осідуть на поверхні кремнію. Саме тому ми перейшли на використання інфрачервоних обігрівачів – ми взагалі не використовуємо повітря.
Витрати часу
Примусова циркуляція повітря є повільною. Потрібно чекати, поки всій камері печі досягне потрібна температура, а потім ще й чекати, поки тепло пошириться по всій поверхні деталі. Це дуже клопітко.
Інфрачервоні обігрівачі працюють інакше – вони використовують електромагнітне випромінювання для передачі енергії безпосередньо на поверхню деталі. Не потрібно чекати, поки повітря нагріється, адже повітря взагалі не має значення.
Найбільша користь від використання інфрачервоних обігрівачів полягає у прискоренні процесу висихання та видалення газів з матеріалу. Час підготовки деталей може скоротитися на 60–80%. Для менеджера заводу це значна перевага – можна обробляти більше пластин на годину, не будучи змушеним будувати більші приміщення.
Це не чудо (є певні компроміси)
Інфрачервоні обігрівачі не є ідеальним рішенням для всіх ситуацій. Оскільки вони діють на поверхню деталі, може виникнути проблема „засихання зовнішньої частини деталі“, коли зовнішня частина висихає, а внутрішня частина залишається холодною.
Щоб уникнути цього, потрібно правильно підібрати довжину хвилі. Короткі хвилі чудово підходять для швидкості обробки, але якщо потрібно проникнути глибше в матеріал, потрібні середні хвилі. Усе залежить від того, який саме матеріал ви використовуєте.
Крім того, інфрачервоне випромінювання може бути дуже інтенсивним. Якщо ви встановлюєте такі обігрівачі в стару піч, потрібно уважно стежити за системою охолодження. Якщо радіатори охолодження не підібрані правильно, висока інтенсивність інфрачервоного випромінювання може пошкодити корпус печі.
Як це робиться
Хороша новина полягає у тому, що заміна обігрівачів зазвичай є досить простою. Достатньо вийняти старі елементи та встановити інфрачервоні лампи.
Одразу ж помітна різниця – менше шуму та тряски. Менше повітря, що циркулює, означає значно чистіше середовище для ваших чіпів.
Ви можете швидше отримати готові деталі, а ваші пластини залишаться чистими. Це просто кращий спосіб роботи.