Как прекратить проблему частиц в чистых комнатах класса 100
Если вы управляете чистой комнатой класса 100 в производственном помещении для производства полупроводников, вы уже знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Самая большая проблема — выделение газов из оборудования.
Большинство стандартных нагревательных элементов не подходят для использования в таких условиях. Как только они достигают рабочей температуры, они начинают выделять частицы или летучие органические соединения. Один маленький кусочек частицы или незаметный клубок газа может разрушить всю продукцию. Это очень раздражает.
Мы решили эту проблему, используя простое и эффективное решение: инфракрасные лампы из высокочистого кварца в сочетании с кабелями из тефлона (ПТФЭ).
Почему это работает
Для изготовления корпуса ламп мы используем высокочистый синтетический кварц. Причина проста: он не выделяет дым и не разрушается при высоких температурах. Он просто выполняет свою функцию, не реагируя на ничего вокруг.
Что касается кабелей, то мы используем только кабели, покрытые ПТФЭ. Почему? Потому что это единственный материал, который не распадается на пыль или не выделяет газы при высоких температурах. Если использовать ПВХ или силикон, это может вызвать срабатывание всех датчиков в чистой комнате. К тому же на поверхности продукции появятся загрязнения. Это совсем не хорошо.
Сложная часть: установка
Чтобы нагрев был эффективным, мы стараемся разместить все компоненты как можно ближе друг к другу. Но это создает проблему накопления тепла. Хотя ПТФЭ отлично переносит высокие температуры, кабели нельзя просто прикрепить к кварцу напрямую — они будут плавиться. Необходимо оставить небольшой зазор или использовать керамические элементы, чтобы кабели могли «дышать».
Мы также внимательно следим за мощностью нагревателя. Хочется ускорить процесс нагрева, но это рискованно. Чрезмерная мощность может негативно повлиять на кварцевые уплотнители.
Вывод
В конечном итоге вам нужна такая система нагрева, которая будет работать без проблем. С этим подходом вы получаете решение, которое идеально подходит для использования. Никаких частиц, никаких странных запахов, никаких всплесков количества частиц. Уровень качества продукции остается высоким, а датчики больше не срабатывают.