Почему мы отказываемся от старых печей в пользу инфракрасного обработки
Долгое время производство полупроводников осуществлялось с использованием огромных конвекционных печей. Но, честно говоря, они уже стали устаревшими технологиями. Сейчас мы переходим на использование инфракрасного излучения – это решение подходит для достижения целей, связанных с использованием «зеленых» материалов и отказом от свинца.
Вместо нагрева воздуха инфракрасное излучение использует электромагнитные волны. Они напрямую воздействуют на поверхность пластины. Нет необходимости в посредниках.
Эффективный нагрев
Подумайте о работе конвекционной печи: сначала нагревается воздух, а затем он нагревает пластину. Это потеря энергии. Инфракрасное излучение работает иначе: фотоны напрямую воздействуют на слой фоторезиста или растворителя, вызывая мгновенную реакцию. Лучше всего то, что мы больше не нуждаемся в токсичных катализаторах и стабилизаторах на основе свинца, которые раньше использовались повсеместно.
Обычно мы используем кратковолновое инфракрасное излучение – оно обеспечивает наилучший эффект. Поскольку тепло достигает пластины очень быстро, ей не нужно долго находиться в зоне нагрева. Меньше времени под лампой означает меньшие расходы на энергию. Просто.
Трудности при использовании
Нельзя просто заменить старый нагреватель на инфракрасную лампу. Это не сработает. Эти лампы выделяют огромное количество тепла. Если корпус устройства не предназначен для таких условий, это может повредить датчики и электронику. Необходим система охлаждения, чтобы избежать повреждения остальных компонентов.
Еще одна проблема – чрезмерное нагревание. Если конвейер движется слишком медленно, тонкие пластины могут деформироваться. Необходимо правильно настроить мощность и скорость движения конвейера, чтобы температурный профиль был оптимальным.
Забота о планете
Преимущество инфракрасного излучения заключается в том, что оно не выделяет продукты сгорания. Не возникает также выбросов летучих органических соединений. Когда время сушки сокращается с минут до секунд, уменьшается углеродный след. Это отличный способ заменить старые, неэффективные системы нагрева, которые потребляют много энергии и превращают чистую комнату в сауну.