IRランプによってウェーハが損傷するのを防ぎましょう。
高負荷運転中にランプが壊れてしまったことがある人なら、その苦労はわかるでしょう。問題は単に停止時間だけではありません。むしろ、発生する破片やヘラジオンガスがシリコン表面に降り注ぐことが大きな問題です。一度でもランプが爆発すれば、二次的な汚染が起こり、一連のウェーハがダメになってしまいます。これは避けられるはずの、しかし実際には避けがたい大きな損失です。私たちは、そうした事態を防ぐために高精度なIRランプを開発しました。
破片を適切な場所に留める
私たちは、単にランプが耐えられることを願うだけではありません。二重構造を採用しています。加熱要素は高純度の合成石英の中にありますが、それだけではありません。さらに、保護用の石英製のケースを追加しています。これはまるで安全網のようなものです。内側のランプが壊れても、このケースが破片を受け止めてくれます。もちろん、壊れたランプを交換する必要はありますが、ウェーハはきれいな状態のままです。これは私が喜んで受け入れる代償です。
熱対策
ほとんどの場合、ランプが壊れるのは「ホットスポット」や急激な温度変化が原因です。つまり、ランプが過度なストレスを受けているからです。これを解決するために、フィラメントを工夫して、熱を均等に分散させています。もうストレス点はありません。また、端のシール部分も強化されています。これにより、急速な温度変動があっても、圧力に耐えて割れることはありません。
妥協点
ただし、保護用のケースを付けると、物理的な障壁ができてしまいます。そのため、裸のランプに比べて、直接のIR放射が少なくなります。目標温度に到達するには、出力を上げたり、保持時間を調整したりする必要があります。しかし、大規模な清掃作業を避けるためには、これは小さな代償に過ぎません。
設置時のヒント
配線を行う際は、PIDコントローラーに注意しましょう。オーバーシュートしないように調整する必要があります。大きな電圧の急変は、ランプの寿命を短くし、破壊の原因になります。また、空気の流れも忘れてはいけません。冷却機能がランプのワット数に見合っているか確認しましょう。そうでないと、高負荷時にソケットが溶けてしまう可能性があります。これは誰も望まない問題です。