Mengeringkan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan secara kimiawi merupakan proses yang sangat berisiko. Mengapa? Karena pada dasarnya kita sedang “bermain dengan api”. Ketika ada uap kimia yang mudah terbakar atau meledak di udara, lampu inframerah biasa bukan hanya alat bantu saja, tetapi juga bisa menjadi sumber bahaya. Sebuah percikan kecil atau titik panas di terminal yang terbuka saja sudah cukup untuk memicu kebakaran. Ini merupakan situasi yang mengerikan dan membuat para manajer pabrik tidak bisa tidur dengan tenang.
Mencegah munculnya percikan api
Kami memutuskan untuk tidak lagi menggunakan lampu yang diletakkan di luar ruangan. Sebagai gantinya, kami memasukkan tabung kuarsa tersebut ke dalam silinder tertutup yang tahan terhadap zat kimia. Silinder ini berfungsi sebagai pelindung yang mengisolasi kontak listrik dari udara di sekitarnya. Dengan demikian, senyawa organik volatil (VOCs) tidak dapat mendekati terminal yang bersifat aktif listrik tersebut. Biasanya, bagian pengunci inilah yang sering rusak—seperti retak atau bocor. Untuk mengatasi hal ini, kami menggunakan gasket berbahan fluoroelastomer yang tahan panas. Gasket ini mampu bertahan meski terkena suhu tinggi secara terus-menerus. Kami juga menentukan tekanan spesifik yang diperlukan agar gas tidak dapat masuk ke dalam perangkat tersebut.
Keseimbangan suhu
Kami menggunakan lampu inframerah berpanjang gelombang pendek. Cahaya ini sampai ke permukaan wafer dengan cepat, sehingga wafer tidak perlu berada di “zona berbahaya” untuk waktu yang lama. Kami menyesuaikan daya lampu agar cairan dapat menguap dengan cepat, tetapi substratnya tidak menjadi terlalu panas. Namun, ada satu masalah: karena lampu tersebut tertutup, panasnya tidak akan hilang ke udara seperti halnya lampu yang terbuka. Panas tersebut tetap terperangkap di dalamnya. Artinya, lampu tersebut akan menjadi lebih panas. Anda perlu memastikan sistem pendinginan dan aliran udara berfungsi dengan baik, jika tidak, kuarsa atau komponen lainnya bisa rusak akibat panas yang berlebihan.
Solusi yang tepat
Yang terbaik adalah menggunakan produk ini sebagai pengganti modul pengeringan yang sudah ada. Karena sumber panasnya terisolasi, Anda tidak perlu membuat kotak pelindung yang besar dan rumit di sekeliling mesin. Luas area pabrik tetap terjaga, dan Anda juga bisa bernapas lega karena peralatan tersebut tidak akan meledak.