Mengapa kita meninggalkan oven konvensional dan beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar inframerah
Selama ini, proses pembuatan semikonduktor bergantung pada oven konvensional yang berukuran besar. Namun sejujurnya, oven tersebut sudah ketinggalan zaman. Kita sekarang beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar inframerah. Alasannya adalah karena metode ini mampu mencapai tujuan pengeringan yang “ramah lingkungan” dan bebas timbal, sesuai dengan tren saat ini.
Alih-alih menggunakan udara panas untuk mengeringkan bahan, sinar inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik. Radiasi ini langsung menembus permukaan wafer, tanpa perlu melalui perantara apa pun.
Mengarahkan panas ke tempat yang tepat
Bayangkan bagaimana cara kerja oven konvensional: udara dipanaskan terlebih dahulu, lalu udara tersebut yang memanaskan wafer. Ini merupakan pemborosan energi.
Sinar inframerah berbeda. Radiasi ini langsung menembus lapisan fotorezist atau pelarut yang ada di permukaan wafer, sehingga memicu reaksi secara langsung. Yang paling baik dari metode ini adalah kita tidak perlu lagi menggunakan katalis beracun atau bahan penstabil berbasis timbal yang biasa digunakan sebelumnya.
Kita biasanya menggunakan sinar inframerah berfrekuensi rendah untuk tujuan ini. Sinar ini memiliki efek pemanasan yang sangat kuat. Karena panasnya begitu intens, wafer hanya perlu berada di zona pemanasan dalam waktu singkat. Waktu yang lebih singkat berarti biaya listrik yang lebih rendah. Sangat sederhana.
Bagian yang rumit: aspek teknisnya
Tidak bisa sembarangan mengganti heater konvensional dengan lampu sinar inframerah. Lampu ini menghasilkan panas yang sangat tinggi. Jika rangka perangkat tidak dirancang khusus untuk hal ini, maka sensor dan komponen elektronik lainnya akan rusak. Kita membutuhkan sistem pendinginan yang baik agar komponen lain tidak rusak akibat panas yang berlebihan.
Selain itu, ada masalah “pemanasan berlebihan”. Jika konveyor bergerak terlalu lambat, wafer yang tipis tersebut akan rusak. Kita perlu menyesuaikan daya dan kecepatan konveyor agar profil termalnya tepat.
Melindungi planet
Kelebihan sinar inframerah adalah bahwa tidak ada gas buang hasil pembakaran yang dihasilkan. Tidak ada VOC yang keluar dari elemen pemanas. Dengan mengurangi waktu pengeringan dari menit menjadi detik, jejak karbon kita pun berkurang. Ini merupakan cara yang bagus untuk menggantikan metode pemanasan lama yang boros energi dan membuat ruang bersih menjadi seperti sauna.