Menghentikan Masalah Partikel di Ruang Bersih Kelas 100
Jika Anda mengelola ruang bersih kelas 100 untuk pabrik semikonduktor, Anda pasti sudah tahu betul masalah-masalah yang muncul di sana. Masalah terbesar yang harus dihadapi adalah pelepasan partikel atau gas berbahaya saat pemanasan berlangsung.
Sebagian besar elemen pemanas standar justru menjadi sumber masalah di lingkungan seperti ini. Begitu mencapai suhu operasi, elemen tersebut mulai memancarkan partikel atau gas volatil organik (VOC). Satu partikel kecil saja sudah cukup untuk merusak wafer yang digunakan. Sangat menyebalkan.
Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan kombinasi yang sederhana namun efektif: lampu inframerah berbahan kuarsa berkualitas tinggi, dikombinasikan dengan kabel berbahan Teflon (PTFE).
Mengapa cara ini efektif?
Kami menggunakan kuarsa sintetis berkualitas tinggi sebagai bahan pembuat lampu. Alasannya sederhana: kuarsa tidak mengeluarkan asap atau rusak saat dipanaskan. Kuarsa tetap berfungsi dengan baik tanpa bereaksi terhadap apa pun.
Untuk kabelnya, kami hanya menggunakan kabel yang dilapisi PTFE. Mengapa? Karena itulah satu-satunya bahan yang tidak akan hancur menjadi debu atau melepaskan gas ketika dipanaskan. Jika Anda menggunakan kabel berbahan PVC atau silikon, hal tersebut akan memicu alarm di seluruh ruang bersih. Selain itu, substrat yang digunakan juga akan terkontaminasi. Tentu bukan hal yang baik.
Bagian yang sulit: Pemasangan
Agar pemanasan berjalan efisien, kami memastikan semua komponen berada dalam jarak yang sangat dekat satu sama lain. Namun hal ini justru menciptakan masalah “penyerapan panas”. Meskipun PTFE tahan terhadap panas, kabel tidak boleh diletakkan langsung di atas kuarsa. Hal tersebut akan membuat kabel meleleh. Diperlukan jarak udara yang kecil atau bantuan bahan keramik agar kabel memiliki ruang untuk “bernapas”.
Kami juga memperhatikan besarnya daya listrik yang digunakan. Memang menggoda untuk meningkatkan daya agar proses pemanasan berlangsung lebih cepat, tetapi itu merupakan risiko yang besar. Daya yang berlebihan akan memberikan tekanan berlebih pada permukaan kuarsa.
Kesimpulan untuk proses kerja Anda
Pada akhirnya, yang Anda inginkan hanyalah sistem pemanasan yang efektif tanpa menimbulkan masalah. Dengan pendekatan ini, Anda akan mendapatkan solusi yang sempurna: tanpa partikel, tanpa gas berbahaya, dan tanpa peningkatan kadar partikel secara tiba-tiba. Dengan demikian, tingkat keberhasilan produksi Anda akan tetap tinggi, dan yang lebih penting lagi, sensor-sensor yang digunakan akan tetap berfungsi dengan baik.