क्लास 100 क्लीनरूमों में कणों से होने वाली समस्याओं को रोकना
यदि आप सेमीकंडक्टर निर्माण हेतु क्लास 100 क्लीनरूमों का प्रबंधन कर रहे हैं, तो आपको पहले से ही इस समस्या के बारे में पता होगा। आपकी सबसे बड़ी समस्या तो गैसों के निकलने की है।
ऐसे वातावरण में अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व बेकार ही हो जाते हैं। जैसे ही वे कार्यशील तापमान तक पहुँचते हैं, वे कणों को छोड़ने लगते हैं, या वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स (VOCs) को छोड़ने लगते हैं। एक छोटा सा कण भी आपके वेफरों को नष्ट कर सकता है… यह बहुत ही निराशाजनक है।
हमने इस समस्या का समाधान एक सरल, उच्च-शुद्धता वाले संयोजन के द्वारा किया – क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग, जिनके साथ विशेष टेफ्लॉन (PTFE) तारों का उपयोग किया गया।
यह विधि क्यों कारगर है?
हम लैंपों के लिए उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। इसका कारण बहुत ही सरल है – ऐसे में लैंपों से कोई धुआँ नहीं निकलता, और गर्मी के कारण भी ये लैंप नष्ट नहीं होते। वे अपना काम बिना किसी प्रतिक्रिया के ही करते रहते हैं।
टारों के लिए हम केवल PTFE-लेपित तारों का ही उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि यही एकमात्र सामग्री है जो गर्मी के कारण धूल या गैसों में नहीं बदलती। यदि आप PVC या सिलिकॉन का उपयोग करेंगे, तो इससे क्लीनरूम में अलार्म बजने लगेंगे… इसके अलावा, आपके उत्पादों पर भी दूषित पदार्थ जम जाएँगे… यह अच्छा नहीं होगा।
स्थापना की जटिलताएँ
हीटिंग प्रणाली को प्रभावी बनाने हेतु, हम सब कुछ एक ही जगह पर रखते हैं… हम चाहते हैं कि ऊष्मा स्रोत लक्ष्य तक जितना संभव हो उतना नजदीक हो।
लेकिन इससे “हीट सॉक” समस्या पैदा हो जाती है।
यद्यपि PTFE गर्मी के प्रति बहुत ही प्रतिरोधी है, लेकिन आप तारों को सीधे क्वार्ट्ज के संपर्क में नहीं रख सकते… ऐसा करने से तार पिघल जाएँगे। इसलिए तारों के बीच थोड़ी जगह छोड़नी आवश्यक है…
हम वॉटेज पर भी बहुत ध्यान देते हैं… तेज ऊष्मा देने की कोशिश करना जोखिम भरा है… अत्यधिक ऊर्जा से क्वार्ट्ज की सतहों पर बहुत ही दबाव पड़ता है।
अंत में…
आपको तो ऐसी हीटिंग प्रणाली ही चाहिए, जो आपके काम में कोई बाधा न डाले।
इस विधि से आपको ऐसा ही समाधान मिलता है… कोई कण नहीं, कोई अजीब गैसें नहीं… आपके उत्पादों की गुणवत्ता बनी रहती है… और सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि आपके सेंसर भी शांत रहते हैं।