फैक्ट्री के कार्यस्थल पर, हाइड्रोजन सेंसर हीटरों में किसी भी प्रकार की त्रुटि सहन नहीं होती। “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” प्रक्रिया के दौरान अगर तापमान में आधा डिग्री का भी बदलाव हो जाए, तो उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है, और उत्पादन प्रक्रिया रुक जाती है। हमने ऐसे हीटरों को ऐसे वातावरण में इस्तेमाल के लिए डिज़ाइन किया है, जहाँ धूल/कणों की मात्रा न्यूनतम हो, ताकि उत्पादन प्रक्रिया लगातार जारी रह सके।
इस हीटर की विशेषताएँ
यह हीटर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड क्वार्ट्ज तत्वों का उपयोग करके तेज़ एवं सटीक तरीके से ऊष्मा प्रदान करता है; इससे वेफरों पर तापमान का मान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। हजारों बेक साइकिलों के दौरान भी तापमान स्थिर ही रहता है। इसका डिज़ाइन ऐसा है कि इसमें कोई कण नहीं बनता, जिससे लिथोग्राफी प्रक्रिया में कोई समस्या नहीं होती। यह हीटर लगातार पूर्ण लोड पर ही काम करता है – इसके लिए कोई रखरखाव की आवश्यकता नहीं है।
उत्पादन में इसका उपयोग
हाइड्रोजन सेंसरों के लिए स्थिर थिन-फिल्म निर्माण एवं निरंतर फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण आवश्यक है। यह हीटर 7×24 घंटे लगातार काम करता है, जिससे उत्पादन प्रक्रिया स्थिर रहती है। इससे कम रीवर्किंग की आवश्यकता होती है, एवं उत्पादन दक्षता भी बढ़ जाती है। ऊर्जा का उपयोग भी नियंत्रित रहता है; इससे स्पेयर पार्ट्स की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
कुछ टिप्स
आपको स्थिर वोल्टेज एवं ठीक से ग्राउंडिंग वाला बिजली स्रोत ही चाहिए। अगर ऐसा न हो, तो तापमान में अनियमितताएँ हो जाएँगी। यह हीटर सामान्य FOUP हैंडलिंग एवं फैक्ट्री के अन्य उपकरणों के साथ भी काम कर सकता है। लेकिन अगर आप इसे पुराने ओवens में इस्तेमाल कर रहे हैं, तो इसकी यांत्रिक स्थिति की जाँच जरूर करें। एक दिन का टेस्ट करके यह सुनिश्चित करें कि वेफरों पर तापमान स्थिर ही रहता है।