वेफर के क्लीनिंग बाथ से बाहर निकलते ही, ऑटोमेटेड सिस्टम में घड़ी काम करना शुरू कर देती है। अवशिष्ट नमी एक बड़ी समस्या है – इसके कारण वेफर पर धब्बे जल्दी ही दिखने लगते हैं, और एक ही जगह पर पानी के निशान से पूरी लाइन नष्ट हो सकती है। ऐसे में, ऐसे हीटर की आवश्यकता है जो हमेशा वेफर पर समान तापमान बनाए रख सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने औद्योगिक वेफर सुखाने हेतु हीटरों में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (NIR) तत्वों एवं क्वार्ट्ज-हैलोजन लैंपों का उपयोग किया है; हीटरों के शरीर में कार्बन-फाइबर का उपयोग किया गया है। इसका कारण सरल है – तेज़ प्रतिक्रिया एवं स्थिर आउटपुट। वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक है; इससे फोटोरेसिस्ट संबंधी प्रक्रियाओं में कोई समस्या नहीं आती।
क्लीनरूम क्लास 1–100 के साथ भी यह सिस्टम कार्य कर सकता है। हमने कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया है, एवं थर्मल रैम्पिंग के दौरान कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता। यह सिस्टम 24/7 काम करता है, एवं हमारे आंकड़ों के अनुसार, मानक शिफ्टों के दौरान कोई अप्रत्याशित बंद होने की स्थिति नहीं होती। बंद-लूप पायरोमेट्री एवं PID नियंत्रण के कारण ही तापमान स्थिर रहता है।
व्यवहार में यह क्यों कारगर है?
वेफर सुखाने में लक्ष्य केवल “वेफर को सुखाना” ही नहीं है… बल्कि प्रक्रिया का नियंत्रण भी आवश्यक है। तापमान की एकरूपता से फोटोरेसिस्ट संबंधी दोष कम हो जाते हैं, लाइनविड्थ का नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है… इससे लिथोग्राफी प्रक्रिया में उत्पादन बढ़ जाता है। तेज़ रैम्प-अप से प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं स्थिर तापमान के कारण अतिरिक्त काम एवं फिर से प्रक्रिया शुरू करने की आवश्यकता नहीं पड़ती।
लक्षित NIR तापन एवं कम स्टैंडबाय लॉस के कारण ऊर्जा की खपत कम रहती है। लंबे समय तक काम करने वाले लैंप एवं मॉड्यूलर डिज़ाइन के कारण स्पेयर पार्ट्स एवं रखरखाव की आवश्यकता कम हो जाती है। परिणामस्वरूप, स्थिर आउटपुट, स्थिर उपकरण उपलब्धता, एवं कम प्रक्रिया रुकावटें होती हैं।
आपको क्या जानना आवश्यक है?
ये हीटर SEMI-अनुरूप प्लेटफॉर्मों एवं रीटर्फिट किटों में भी उपयोग में आ सकते हैं… लेकिन इंस्टॉलेशन के दौरान संरेखण एवं थर्मल इंटरफेसों की जाँच आवश्यक है। चैम्बर के वजन एवं गैस प्रवाह के अनुसार PID गेनों को समायोजित करने हेतु एक छोटा सा टेस्ट भी आवश्यक है।
उच्च आर्द्रता वाले क्लीनरूमों में भी यह सिस्टम कार्य कर सकता है… लेकिन नियमित रूप से लैंपों की जाँच एवं क्लीनरूम-ग्रेड फिल्टरेशन आवश्यक है। इससे 5,000 घंटों से अधिक समय तक तापमान स्थिर रहता है।