Gia nhiệt đồng đều cho wafer 300mm bằng tia hồng ngoại

Trên dây chuyền 300mm, quá trình nung photoresist là bước khóa ngân sách nhiệt. Một mép nóng hoặc lạnh, sự lệch trong khi nung cứng, và độ đồng đều...