پیکیجنگ کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران 0.3°C کا فرق بھی کافی ہے تاکہ مطلوبہ معیارات پورے نہ رہیں اور ویفرز بیکار ہو جائیں۔ ہم نے اپنے مینی ایل ای ڈی چپ پیکیجنگ لیمپ کو اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے ڈیزائن کیا ہے، تاکہ درجہ حرارت کا معیار ہمیشہ مطلوبہ حدود میں رہے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں
ہم نے NIR-آپٹیمائزڈ مینی ایل ای ڈی ایمیٹرز کو کوارٹز-ڈفیوزڈ تھرمل ونڈو کے ساتھ استعمال کیا ہے، تاکہ ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہے۔ بیک کرنے کے بعد درجہ حرارت کی استحکامیت ±0.2°C کے اندر رہتی ہے، جس سے ویفر کی ساخت مستحکم رہتی ہے اور اس کے اہم ابعاد بھی کنٹرول میں رہتے ہیں۔
یہ پیکیج Class 1–100 کلین رومز کے لئے مناسب ہے؛ کیوں کہ اس میں کم گیس خارج ہوتی ہے، اور لیمینر ایئر فلو پاتھ کی وجہ سے مستقل آپریشن کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔ پانچ ہزار گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی روشنی کی شدت میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے، لہذا آپ بغیر کسی خطرے کے اسے استعمال کر سکتے ہیں۔
مینی ایل ای ڈی چپ پیکیجنگ میں اس کی افادیت
آپ کو ایسی حرارت کی ضرورت ہے جو بالکل اس جگہ پہنچے جہاں بانڈ پیڈز اور انکیپسولنٹ ملتے ہیں، تاکہ ارد گرد کی ساختیں متأثر نہ ہوں۔ یہ لیمپ حرارتی توانائی کو صرف مطلوبہ جگہ پر مرکوز کرتا ہے، جس سے انرجی کی کھپت 25% تک کم ہو جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں حرارتی تبدیلیاں تیز ہوتی ہیں، پروفائل کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ لیتھوگرافی اور فوٹوریزسٹ کے لحاظ سے، اس سے بہتر کارکردگی حاصل ہوتی ہے – زیادہ پیداوار اور کم بندش کا وقت۔
عملی تفصیلات
اس لیمپ کے لئے 24 VDC کی برقی فراہمی اور 3-پن کنکٹر کی ضرورت ہے، تاکہ درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جا سکے۔ زیادہ تر پیکیجنگ ٹولز میں اسے آسانی سے استعمال کیا جا سکتا ہے، لیکن ایمیٹر اور سبسٹریٹ کے درمیان فاصلہ ±0.25 ملی میٹر کے اندر رہنا ضروری ہے۔ اپنے پروسیس کو درست کرنے کے لئے مختصر ٹیسٹنگ کی ضرورت ہے۔
اگرچہ یہ ڈیزائن ذرات کو کم کرتا ہے، لیکن پھر بھی اسے مخصوص ایئر فلو اور درجہ حرارت کی حدود میں ہی استعمال کرنا ضروری ہے، تاکہ Class-کمپلاينٹ کارکردگی برقرار رہے۔