Na linii o długości 300 mm wystarczy półstopniowy odchylenie podczas procesu suszenia fotorezystu, aby doskonały produkt przekształcił się w bezużyteczny odpad. Samo ścisłe określenie tolerancji w skanerze nie rozwiąże tego problemu. Proces suszenia musi być realizowany z odpowiednią precyzją.
Stworzyliśmy lampę podczerwoną z wbudowanym nożem powietrznym, który pomaga w zwalczaniu dwóch głównych problemów: odchyleń termicznych oraz zanieczyszczeń. Oba te czynniki negatywnie wpływają na powtarzalność wyników, zanim w ogóle można je zaobserwować na wykresach.
Co jest ważne w tym urządzeniu? Urządzenie łączy emiter podczerwieni krótkofalowej z nożem powietrznym umieszczonym tuż obok niego. Lampa szybko i efektywnie nagrzewa powierzchnię, przy jednoczesnym zachowaniu precyzyjnego kontrolowania spektrum promieniowania. Dzięki temu unika się odchyleń termicznych.
Równomierność temperatury na całej powierzchni płytki wynosi ±0,1°C. Sprawdzamy to za pomocą pomiarów w czasie rzeczywistym, a nie na podstawie danych uzyskanych z jednego czujnika. Nożyk powietrzny tworzy laminarny strumień powietrza, który usuwa cząsteczki i wilgoć z powierzchni płytki, a następnie wyprowadza je z komory. Liczba cząsteczek pozostaje na poziomie przyjętym dla stref czystych klasy 1–100.
Rezultatem jest stabilna temperatura podczas procesu suszenia, konsekwentna kontrola wymiarów kluczowych produktu oraz mniej konieczności przeróbek.
Dlaczego to działa w litografii? Proces obróbki fotorezystu wymaga dużo uwagi – jest wrażliwy na zmiany temperatury oraz zanieczyszczenia w powietrzu. To urządzenie szybko osiąga żądaną temperaturę, dzięki czemu czas bezczynności jest minimalny, a parametry procesu pozostają stałe.
Wszystkie materiały użyte w tym urządzeniu są dostosowane do warunków panujących w strefach czystych, a droga przepływu powietrza jest szczelna, więc nie dochodzi do wydzielania się gazów ani pyłu. Zużycie energii jest niższe niż w piecach konwekcyjnych, ponieważ energia trafia bezpośrednio na powierzchnię płytki, a nie na ścianki komory.
Niezawodność urządzenia polega na możliwości jego ciągłej pracy przez 5000 godzin lub więcej, przy jednoczesnym spadku wydajności poniżej 5%. Dzięki temu urządzenie może pracować 24/7 bez przerw.
Praktyczne detale, których nie można zaniedbać Instalacja wymaga specjalnego systemu odsysania powietrza, a także konieczna jest kontrola jakości dopływu powietrza. Jeśli filtracja jest niewystarczająca, to cząsteczki będą ponownie dostawać się do komory.
Lampa działa najlepiej, gdy istnieje przejrzysty kanał widzenia na płytkę, więc warto zwrócić uwagę na geometrię otoczenia komory.
Należy ustawić ciśnienie noża powietrznego w odpowiednim zakresie. Zbyt wysokie ciśnienie może zakłócić proces obróbki fotorezystu, natomiast zbyt niskie ciśnienie uniemożliwi usunięcie cząsteczek. Ponadto należy dostosować spektrum emisji lampy do profilu absorpcji fotorezystu – to zapewnia najwyższą równomierność.