Mengapa kita menggunakan teknologi pengeringan inframerah untuk pemprosesan wafer
Mari kita bincangkan tentang proses pengeringan dan penyembuhan bahan-bahan yang digunakan dalam industri semikonduktor. Dalam dunia semikonduktor, kita sudah meninggalkan cara-cara lama yang melibatkan penggunaan bahan kimia berbahaya dan kaedah pemanasan yang tidak efisien. Sebaliknya, kita menggunakan teknologi inframerah.
Teknologi ini lebih bersih. Dengan menggunakan tenaga radiasi secara langsung, kita dapat mengelakkan penggunaan bahan kimia berbahaya serta kaedah pemanasan yang membebaskan banyak haba. Ia merupakan cara yang lebih mudah dan mesra alam untuk menyelesaikan tugas tersebut tanpa menyebabkan masalah alam sekitar.
Bagaimana haba bekerja
Bayangkan sebuah ketuhar konveksi. Ia perlu memanaskan udara di dalamnya terlebih dahulu sebelum makanan menjadi panas. Ini merupakan pembaziran masa dan tenaga.
Lampu inframerah pula berbeza. Ia menghantar tenaga secara langsung ke permukaan wafer. Tiada keperluan untuk menggunakan unit pengudaraan yang besar, dan tiada waktu menunggu yang diperlukan. Kita menggunakan gelombang inframerah pendek dan sederhana kerana ia dapat mencapai lapisan fotoresist atau lapisan pelekat tepat di tempat yang diperlukan, tanpa merosakkan substrat tersebut. Ia merupakan cara yang lebih tepat, dan oleh itu penggunaan tenaga juga berkurangan.
Keseimbangan antara jarak dan kepadatan
Jarak antara lampu dan wafer sangat penting. Jika lampu diletakkan terlalu dekat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Namun, jika lampu diletakkan terlalu jauh, haba akan dibazirkan ke udara sekeliling.
Kita perlu mengambil masa yang lama untuk menyesuaikan jarak ini berdasarkan kuasa lampu dan panjang gelombangnya. Lampu berkuasa tinggi memang efektif, tetapi sistem penyejukan perlu mampu menangani tenaga yang dipantulkan oleh lampu tersebut. Jika tidak, lampu tersebut akan rosak.
Kelebihan dan kekurangan
Kelebihan utama penggunaan teknologi pengeringan inframerah ialah ia merupakan proses yang “kering”. Anda tidak perlu risau tentang bahan kimia berbahaya atau gas beracun yang dihasilkan semasa proses pengeringan. Sistem penapisan juga menjadi lebih mudah untuk dikendalikan.
Namun, ada satu kelemahan. Ketika lampu pertama kali dihidupkan, akan ada lonjakan kuasa yang besar. Anda memerlukan sumber tenaga yang stabil agar voltan tidak turun ketika lampu dihidupkan.
Tetapi setelah suhu mencapai tahap yang diinginkan, segala proses akan berjalan dengan lebih cepat. Masa yang diperlukan untuk proses pengeringan juga berkurangan, dan penggunaan tenaga juga berkurangan. Ia merupakan cara yang lebih efisien.