와이퍼가 손상되는 것을 막아보세요. 와이퍼를 건조하는 과정에서 램프가 고장나면, 단순한 가동 중단 문제가 아니라 심각한 문제가 발생합니다. 마치 악몽과도 같죠. 무거운 부하로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 갑자기 유리 조각들과 할로겐 가스가 실리콘 위로 쏟아...

IR 램프가 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요 고부하 상태에서 램프가 고장 나는 경험을 해본 적이 있다면 그 불편함을 잘 알 것입니다. 문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 웨이퍼 위에 석영 조각과 할로겐 가스가 흩어지는 것도 큰 문제입니다. 한 번만 고장나도 전체...

화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 과정은 매우 위험한 작업입니다. 왜냐하면 이는 마치 불과 싸우는 것과 같기 때문입니다. 공기 중에 인화성이 있거나 폭발성인 화학물질의 증기가 남아 있는 상태에서는, 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라...

왜 웨이퍼 처리에 적외선 경화 기술을 사용하는가? 건조와 경화 과정에 대해 이야기해 보겠습니다. 반도체 분야에서는 이제 더 이상 오래된 방식, 즉 강력한 연소나 유해한 화학 용매를 사용하는 방식은 사용되지 않습니다. 대신 적외선 기술이 사용됩니다. 이 방식은 훨씬 더...

왜 우리가 기존의 오븐 대신 적외선을 이용하는가? 오랫동안 반도체 제조에는 거대한 대류식 오븐이 사용되어 왔습니다. 하지만 솔직히 말해서, 그런 오븐들은 이제 구식이 되어가고 있습니다. 우리는 이제 적외선을 이용한 치료 방식으로 전환하고 있습니다. 그 이유는 바로 오...

원자재가 세척 욕조에서 나오는 순간부터 시계가 작동하기 시작합니다. 잔여 수분은 심각한 문제입니다. 수분으로 인해 스팟이 생기고, 단 한 군데의 물 자국만으로도 전체 생산 라인이 망가질 수 있습니다. 따라서 설정된 온도를 유지할 수 있는 히터가 필요합니다. 모든 웨이...

300mm 라인에서 포토레지스트 베이킹은 열 예산을 고정하는 단계입니다. 가장자리의 과열 또는 과냉, 하드 베이크 중 온도 변동이 발생하면 CD 균일성이 무너지고, 불량이 쌓이는 동안 스케줄러는 동일한 로트를 계속 밀어붙입니다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해...

리소그래피 작업장에서 오븐 램프가 켜지고 벨이 올라가면 웨이퍼가 설정값에 도달할 때까지 기다린다. ‘근접’이 아니라 ‘설정값’. 모든 공정에서 그렇다. 드리프트하는 소프트 베이크는 레지스트 점도와 정재파 거동을 변화시키며, 균일하지 않은 하드 베이크는 가장자리 잔류물...