בשלב האריזה של השבבים, שינוי של 0.3°C בטמפרטורה במהלך תהליך החימום מספיק כדי לגרום לסטיות מהתקנים הנדרשים, וכתוצאה מכך השבבים נהפכים לחסרי תועלת. יצרנו את המנורה שלנו כדי למנוע שינויים אלו, כך שהטמפרטורה תישאר בטווח הנדרש, שעה אחר שעה.
מה באמת חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגלאי Mini LED שמותאמים לקרינה באורך גל אינפרא-אדום, בשילוב עם חלון תרמי מסוג קוורץ, כך שניתן להשיג אחידות של ±0.1°C בכל אזור הפעילה של השבב. החזריות של הטמפרטורה נשארים בטווח של ±0.2°C מחימום לחימום, מה שמאפשר שליטה טובה על הממדים החשובים של השבב.
המנורה מיועדת לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100: החומרים ממנה עשויים מונעים פליטת גזים, ומסלול האוורור הלמינרי מונע יצירת חלקיקים במהלך הפעולה הרגילה. ההספק של המנורה נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% בעוצמה – כך שניתן לדחות את התחזוקה המונעת, מבלי לסכן את תהליך הייצור.
למה זה עובד באריזת שבבי Mini LED? יש צורך בחום שנמצא בדיוק במקום בו נמצאים מקומות החיבור של השבב, מבלי לפגוע במבנים הסמוכים. המנורה ממקדת את החום במקום הנכון, כך שהעומס התרמי על השבב פוחת, וצריכת האנרגיה יורדת ב-25% בהשוואה למנורות הלוגן הרגילות. זה אומר עלייה מהירה יותר בטמפרטורה, שליטה טובה יותר בממדים של השבב, ופחות צורך בתיקונים. בתהליך הליתוגרפיה, זה מביא לביצועים יציבים – תשואה גבוהה יותר וזמן עצירה פחות.
הפרטים הטכניים: המנורה דורשת מקור אספקה של 24 VDC, וכן מפריץ בעל 3 חיבורים לצורך מעקב אחר הטמפרטורה. ההתקנה שלה פשוטה ברוב מכשירי האריזה, אך יש צורך בדיוק רב במיקום המנורה – המרחק בין הגלאי לבין השבב צריך להיות בטווח של ±0.25 ממ. יש לבצע ניסויים קצרים כדי לוודא שהמנורה עובדת כראוי.
ואף שהעיצוב של המנורה מונע יצירת חלקיקים, עדיין יש צורך להפעיל אותה בטווח הטמפרטורות והאוורור המוגדרים, כדי לשמור על ביצועים שעומדים בדרישות.