בקו ה-300 ממ, שינוי טמפרטורה של חצי מעלה במהלך תהליך החימום מספיק כדי לגרום לכך שהמאפיינים הקריטיים של הוופרים לא יעמדו בדרישות – וכתוצאה מכך עלולים להיזרק הרבה וופרים לפח. נורות החימום האלו אינן רק ציוד נוסף; הן מהוות את הבסיס התרמי שמאפשר לתהליך העיבוד להתנהל באופן יציב בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100.
עיצבנו את הנורה כך שתשתמש בקרינת אינפרא-אדום בתדר נמוך, שתואמת את יכולת הספיגה של המים. כך ניתן לחמם את הנוזל במהירות, ללא יצירת אזורים חמים. האחידות התרמית בכל אורך מסלול הנוזל נשארת בטווח של ±0.1°C, מה שמאפשר שליטה טובה בטמפרטורה של הוופרים, מרוץ לאחר מרוץ. החומרים שמרכיבים את הנורה – קוורץ וחומרים עמידים לקורוזיה – מונעים את יצירת חלקיקים, ומאפשרים פעולה רציפה גם בתנאי מים באיכות גבוהה.
ההספק של הנורה נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% בעוצמת החימום. העיצוב מיועד לפעולה 24/7, ללא זמני עצירה בלתי צפויים.
בתהליך הליתוגרפיה, נדרשת שליטה תרמית מדויקת. הנורה הזו מאפשרת שליטה מדויקת בטמפרטורה של הוופרים, מרוץ לאחר מרוץ. כך ניתן להשיג שליטה טובה במאפיינים הקריטיים של הוופרים, ולהפחית את מספר הוופרים שצריך לזרוק.
צריכת האנרגיה גם היא פוחתת. הנורה מחממת רק כאשר יש צורך בכך, כך שאין אובדן אנרגיה. והמשך החיים הארוך של הנורה מאפשר תחזוקה קלה.
הנורה קומפקטית, ויש למקם אותה במקום הנכון במסלול הנוזל, ולבצע תחזוקה בזמנים המתוכננים. אל תניחו שניתן להשתמש בה ישירות במערכות קיימות – יש לבדוק את ההתאמה שלה למערכות הקיימות.
יש לבדוק את ההולכה החשמלית של המים, קצב הזרימה והתאמת החיבורים. כאשר כל אלו תקינים, השליטה בטמפרטורה תהיה מדויקת, ולא יהיה צורך בתיקונים נוספים.