در خط تولید، بودجه حرارتی مورد نیاز برای فرآیند لیتوگرافی، از مراحل فرآوری نرم و سخت شروع میشود. تغییر دما در حدود ۱.۵ درجه سانتیگراد، یا وجود نقاط سرد در سطح ویفر، میتواند باعث تغییرات قابل توجهی در ابعاد مهم ویفر شود. این امر منجر به اهدار کردن کل محمولههای تولید شده و توقف فرآیند تولید میشود.
ما لامپهای مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که پروفایل حرارتی را در طول فرآیند تولید، پایدار نگه دارند. آنچه واقعاً اهمیت دارد، کنترل دما در سطح ویفر است. منبع انرژی مادون قرمز ما، انرژی را مستقیماً و به سرعت به داخل ماده حساس به نور منتقل میکند؛ در نتیجه، یکنواختی دمای سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. بدنه لامپ از کوارتز ساخته شده است و دارای آینههای با خلوص بالاست؛ بنابراین این لامپ در محیطهای کلاس ۱-۱۰۰ به خوبی کار میکند و هیچ ذرهای ایجاد نمیشود.
قابلیت تکرارپذیری خروجی، در طول شبانهروز، در محدوده ۰.۵ درصد باقی میماند؛ همچنین کنترل چرخه بسته، پروفایل حرارتی را در محدوده مشخص شده نگه میدارد و از خروج از این محدوده جلوگیری میکند.
دلیل موفقیت این روش این است که این روش استانداردهای بینالمللی مربوط به تجهیزات نیمههادی را برآورده میکند؛ همچنین، کنترل دقیقتری بر ابعاد ویفر امکانپذیر میشود. در نتیجه، تعداد بارهای فرآوری مجدد کاهش مییابد و مقدار اهداری محصولات نیز کمتر میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ تنها ماده حساس به نور را گرم میکند، نه کل محفظه. ما این لامپها را برای بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت استفاده کردهایم و کاهشی کمتر از ۵ درصد در خروجی مشاهده کردهایم؛ این امر باعث یکنواختی فرآیند تولید در تمام محمولهها میشود.
چند نکته عملی: این لامپ با رابطهای استاندارد SEMI و روشهای مربوط به فرآوری ویفر سازگار است؛ اما هنوز نیاز به توجه برای یکپارچهسازی آن وجود دارد؛ جرم حرارتی مراحل مختلف فرآیند و مسیر خروج گازات نیز اهمیت دارند.
توصیه میشود یک آزمایش کوتاه انجام دهید تا پروفایل حرارتی لامپ را بر اساس نیازهای خود تنظیم کنید. پس از تنظیم، فرآیند تولید تحت کنترل خواهد ماند و خط تولید نیز به کار خود ادامه خواهد داد.