আর অপেক্ষা করবেন না—ওয়েফারগুলো গরম করার আরও ভালো উপায় রয়েছে।
ফোর্সড এয়ার কনভেকশন পদ্ধতি নিয়ে সত্যি কথা বললে, এটা আসলে পুরানো পদ্ধতি। এখানে আপনি একটি বড় বায়ুমণ্ডলকে গরম করেন, আর আশা করেন যে গরম বায়ুটি অবশেষে ওয়েফারগুলো পর্যন্ত পৌঁছাবে।
সমস্যা হলো, এতে অনেক সময় লাগে। বায়ুটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় পৌঁছানোর জন্য অপেক্ষা করতে অনেক সময় ব্যয় হয়। এটা একটি বড় বাধা।
অপেক্ষা কমানোর উপায়
আমরা ঠিক করেছি যে বায়ু ব্যবহার করার চেষ্টা বন্ধ করে সরাসরি লক্ষ্যবস্তুটিকে গরম করা হবে। এখানেই অজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড (IR) ল্যাম্পগুলো কাজে আসে।
IR ল্যাম্পগুলো বৈদ্যুতিক চুম্বকীয় বিকিরণ ব্যবহার করে; এগুলো সরাসরি লক্ষ্যবস্তুটিকে গরম করে। কোনো “ওয়ার্ম-আপ” প্রক্রিয়া নেই। আপনি শুধুমাত্র ল্যাম্পটি চালু করলেই হয়।তৎক্ষণাৎ।
যখন আপনি পুরো বায়ুমণ্ডলকে গরম করার চেষ্টা বন্ধ করে শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুটির পৃষ্ঠকে গরম করার চেষ্টা করেন, তখন আপনার কাজের সময় অনেক কমে যায়। আর আপনার জায়গাও সাশ্রয় হয়। আপনার আর বড়, ভারী ইনসুলেটেড চেম্বারগুলোর দরকার নেই; কারণ আপনি আর গরম বায়ুকে আটকে রাখার চেষ্টা করছেন না।
অজোন সমস্যা (এবং এর সমাধান)
এখানেই সমস্যা রয়েছে: সাধারণ শর্টওয়েভ IR ল্যাম্পগুলো UV বিকিরণের কারণে অজোন উৎপন্ন করে। যদি আপনি ক্লিনরুমে কাজ করেন, তাহলে অজোন একটি বড় সমস্যা। এটা সংবেদনশীল উপাদানগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত করে।
আমরা এর সমাধান হিসেবে নির্দিষ্ট কোয়ার্টজ উপাদান ও অভ্যন্তরীণ ফিল্টার ব্যবহার করেছি; এগুলো 200nm-এর নিচের UV বিকিরণগুলোকে আটকে দেয়। আপনি এখনও তীব্র তাপ পাবেন, কিন্তু কোনো রাসায়নিক প্রভাব থাকবে না। আমরা এই ল্যাম্পগুলোকে এমনভাবে সাজিয়েছি যাতে তাপটি ওয়েফারের সর্বত্র সমানভাবে ছড়িয়ে যায়; ফলে আপনাকে ওয়েফারের কিনারাগুলো নষ্ট হওয়ার চিন্তা করতে হবে না।
বাস্তবতা
IR ল্যাম্পগুলো কোনো জাদু নয়; এগুলোরও কিছু সীমাবদ্ধতা রয়েছে।
সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হলো, IR ল্যাম্পগুলো নির্দিষ্ট দিকেই তাপ পাঠায়। গরম বায়ু লক্ষ্যবস্তুটিকে ঘিরে থাকে, কিন্তু IR ল্যাম্পগুলো শুধুমাত্র সেই অংশগুলোকেই গরম করে যা সেগুলো “দেখতে” পায়। যদি আপনার লক্ষ্যবস্তুটিতে গভীর গর্ত বা অদ্ভুত 3D আকৃতি থাকে, তাহলে সেখানে ঠান্ডা অংশ থেকে যাবে।
এটা এড়ানোর জন্য আপনাকে বেশ কয়েকটি ল্যাম্প ব্যবহার করতে হবে, অথবা রিফ্লেক্টর ব্যবহার করে তাপটিকে সেই গর্তগুলোতে পাঠাতে হবে।
আর একটি সতর্কতা: যেহেতু এই ল্যাম্পগুলো খুব দ্রুত ও তীব্রভাবে তাপ পাঠায়, তাই আপনাকে PID কন্ট্রোলারগুলো সঠিকভাবে ব্যবহার করতে হবে। যদি আপনি সঠিকভাবে ক্যালিব্রেশন না করেন, তাহলে আপনার লক্ষ্যমাত্রা অতিক্রম হয়ে গেলে ওয়েফারটি নষ্ট হয়ে যেতে পারে।