৩০০ মিমি লাইনে, ফটোরেজিস্ট বেক করার সময় অর্ধ-ডিগ্রির মতো ভুলও একটি ভালো পণ্যকে নষ্ট করে দিতে যথেষ্ট। শুধুমাত্র স্ক্যানারের নির্ভুলতা বাড়ালেই এই সমস্যার সমাধান হবে না। বেকিং প্রক্রিয়াটিকেই নিজস্বভাবে কাজ করতে হবে।
আমরা থার্মাল ড্রিফট ও দূষণ দুটি সমস্যা মোকাবিলার জন্য একটি ইনফ্রারেড ল্যাম্প তৈরি করেছি। এই দুটি সমস্যাই পণ্যের গুণমানকে ক্ষতিগ্রস্ত করে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই যন্ত্রটিতে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার এবং এর পাশেই অ্যার নাইফ রয়েছে। ল্যাম্পটি দ্রুত ও সরাসরি তাপ উৎপন্ন করে; এছাড়া এর স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণও খুব ভালো। এর ফলে থার্মাল ল্যাগ ও ওভারশুট নিয়ন্ত্রণে থাকে।
ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রা ±০.১°C এ থাকে; আমরা এটা ইন-সিটু ম্যাপিংয়ের মাধ্যমে যাচাই করি, কোনো একটি সেন্সরের ডেটা ব্যবহার করে নয়। অ্যার নাইফটি পৃষ্ঠ থেকে কণা ও আর্দ্রতা অপসারণ করে; তারপর সেগুলোকে চেম্বার থেকে বের করে দেয়। কণার সংখ্যা ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এর মধ্যেই থাকে।
এর ফলে সফট বেক ও হার্ড বেক উভয় ক্ষেত্রেই স্থিতিশীল তাপমাত্রা বজায় থাকে; ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো নিয়ন্ত্রণে থাকে; আর রিওয়ার্কের পরিমাণও কমে যায়।
লিথোগ্রাফিতে এটি কেন কার্যকর?
ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াটি অত্যন্ত সংবেদনশীল—এটা তাপমাত্রা ও বায়ুতে থাকা ত্রুটিগুলোর প্রতি সংবেদনশীল। এই যন্ত্রটি দ্রুত তাপমাত্রা অর্জন করে; ফলে অপেক্ষার সময় কমে যায় এবং বেকিং প্রক্রিয়াটি ধারাবাহিকভাবে চলে।
সমস্ত উপকরণগুলোই ক্লিনরুম-সংগত; আর বায়ু প্রবাহও নিয়ন্ত্রিত থাকে। ফলে কোনো গ্যাস বা কণা বাইরে যায় না। এনার্জি ব্যবহারও কনভেকশন ওভেনের তুলনায় কম—কারণ এনার্জি সরাসরি ফিল্মে যায়, চেম্বারের দেয়ালে নয়।
নির্ভরযোগ্যতার জন্য যন্ত্রটি ৫,০০০+ ঘন্টা কাজ করতে পারে; আউটপুট হ্রাস মাত্র ৫% এর কম হয়। ফলে ২৪/৭ কাজ চলতে পারে, কোনো বিরতি ছাড়াই।
কী কী বিষয় লক্ষ্য করা দরকার?
ইনস্টলেশনের জন্য একটি ডেডিকেটেড এক্সহস্ট সিস্টেম দরকার; আর বায়ু সরবরাহের গুণমানও যাচাই করতে হবে। যদি ফিল্ট্রেশন ঠিক না হয়, তাহলে আবার কণাগুলো ঢুকে যাবে।
ল্যাম্পটি ওয়েফারের দিকে সরাসরি তাকালেই সেরা কাজ করে; তাই প্রক্রিয়া চেম্বারের আশেপাশের জ্যামিতিক অবস্থার দিকে মনোযোগ দিন।
অ্যার নাইফের চাপটিকে নির্দিষ্ট সীমার মধ্যে রাখুন। চাপ বেশি হলে রেজিস্ট ক্ষতিগ্রস্ত হবে; আবার চাপ কম হলে কণাগুলো অপসারিত হবে না। আর এমিটারের স্পেকট্রামটিকে ফটোরেজিস্টের অ্যাবসর্পশন প্রোফাইলের সাথে মিলিয়ে নিন—এভাবেই সর্বোত্তম নির্ভুলতা অর্জন করা যায়।