LCD ফ্যাব ফ্লোরে তাপীয় ড্রিফটের প্রভাব
একটি LCD ফ্যাব ফ্লোরে, তাপীয় ড্রিফট কোন নীয়ন সাইন নিয়ে হাজির হয় না। এটি কেবল নীরবে ওভারলে মার্জিন খায়, CD ইউনিফর্মিটির স্ক্রুগুলি টাইট করে এবং ফটোরেসিস্ট প্রোফাইলগুলি লক্ষ্যের বাইরে ঠেলে দেয়। যখন বেক পদক্ষেপ গ্লাস জুড়ে সেটপয়েন্ট ধরে রাখতে পারে না, তখন আপনি স্ক্র্যাপড সাবস্ট্রেট এবং যেগুলি স্থির থাকে না সেগুলিতে তার মূল্য দেন।
কি বিষয়গুলি অন্তরালে গুরুত্বপূর্ণ
আমরা সংক্ষিপ্ত-তরঙ্গ কোয়ার্টজ এমিটারগুলির চারপাশে ইনফ্রারেড হিটারটি তৈরি করেছি। সরাসরি শক্তি স্থানান্তর, দ্রুত তাপীয় প্রতিক্রিয়া—কোন অতিরিক্ত পদক্ষেপ, কোন বিলম্ব নেই। সক্রিয় অঞ্চলের জুড়ে, ওয়েফার-স্তরের ইউনিফর্মিটি ±0.1°C এর মধ্যে অবস্থান করে, এবং পুনরাবৃত্তিমূলকতা মিলে যায় মিলিসেকেন্ডের মধ্যে।
এই সিস্টেমটি পরিষ্কার: শূন্য কণার উৎপাদন, কোন আউটগ্যাসিং নেই, এবং এটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে কোন নাটক ছাড়াই কাজ করে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ বন্ধ লুপে, উচ্চ-রেজোলিউশনের সেন্সিং এবং টাইট পাওয়ার রেগুলেশন সহ। এভাবেই আপনি প্রতি সফট বেক এবং হার্ড বেকের জন্য একই তাপীয় বাজেট পান, লটের পর লট।
কেন এটি LCD প্যানেল উৎপাদনে উপযুক্ত
LCD সাবস্ট্রেটগুলি বড়, তাপীয়ভাবে ক্ষুধার্ত এবং গ্রেডিয়েন্ট সম্পর্কে অসহিষ্ণু। আমাদের ইনফ্রারেড হিটারটি নিয়ন্ত্রিত, স্থানীয়কৃত তাপ ঠিক যেখানে প্রয়োজন সেখানে প্রদান করে, তাই তাপীয় বিলম্ব কমে যায় এবং আপনি পরিবেষ্টিত মডিউলগুলিতে অতিরিক্ত তাপ নিক্ষেপ করেন না।
লাভটি সোজা: আরও ধারাবাহিক ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়াকরণ, কম পুনঃকর্ম, এবং গুরুত্বপূর্ণ মাত্রার নিয়ন্ত্রণ যা স্থির থাকে। শক্তির ব্যবহার কমে যায় কারণ এমিটার চাহিদা অনুযায়ী গরম হয় এবং দ্রুত ঠান্ডা হয়। নির্ভরযোগ্যতা 24/7 অপারেশনের জন্য তৈরি করা হয়েছে, যার ডাউনটাইম পরিকল্পনা করা যায় এমন ধরনের।
গুরুত্বপূর্ণ ব্যবহারিক বিবরণ যা আপনি এড়াতে পারবেন না
হিটারটি পরিষ্কারভাবে একত্রিত হয়, তবে সাবস্ট্রেট পথ এবং ক্লিয়ারেন্সের দিকে সুনির্দিষ্ট হতে হবে। তাপীয় বিতরণের জন্য স্থান ত্যাগ করুন এবং পরিষেবা প্রবেশাধিকার নিশ্চিত করুন—সেই কোণগুলি কাটা যাবে না।
একত্রিতকরণের সময় আপনার মেশিন ইন্টারফেস এবং সংযোগকারী স্পেক নিশ্চিত করুন, এবং আপনার প্রকৃত সাবস্ট্রেট আকারের জন্য তাপীয় ম্যাপিংয়ের সময়সূচী নির্ধারণ করুন। সঠিক সেটআপ পেলে, আপনি প্রথম লট থেকে পরবর্তী লট পর্যন্ত স্থিতিশীল বেক প্রোফাইল এবং পুনরাবৃত্তিমূলক লিথোগ্রাফি কার্যকারিতা দেখতে পাবেন।