Tại sao chúng ta từ bỏ phương pháp sử dụng không khí để làm nóng trong phòng sạch?
Hầu hết các nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn vẫn sử dụng phương pháp sử dụng không khí để làm nóng. Đó là phương pháp cũ: bạn làm nóng không khí, sau đó hy vọng rằng không khí đó sẽ làm nóng các linh kiện. Vấn đề là quá trình này mất rất nhiều thời gian. Ngoài ra, việc di chuyển một lượng lớn không khí trong phòng sạch giống như việc mời bụi bẩn vào “bữa tiệc”. Càng có nhiều không khí được di chuyển, thì càng có nhiều hạt bụi có thể bám vào các linh kiện silicon. Đó là lý do tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng bộ sưởi sóng hồng ngoại. Chúng ta hoàn toàn có thể bỏ qua việc sử dụng không khí.
Chi phí của việc chờ đợi
Phương pháp sử dụng không khí rất chậm. Bạn phải chờ cho toàn bộ buồng sưởi đạt đến nhiệt độ mong muốn, sau đó lại phải chờ thêm một lúc nữa để nhiệt độ đó thực sự thấm vào vật liệu cần xử lý. Điều này rất phiền phức.
Trong khi đó, sóng hồng ngoại lại khác. Nó sử dụng bức xạ điện từ để truyền năng lượng trực tiếp vào vật liệu cần xử lý. Bạn không cần phải chờ cho không khí nóng lên, vì không khí không còn vai trò gì nữa.
Chúng ta thấy rằng phương pháp sóng hồng ngoại mang lại hiệu quả rõ rệt trong quá trình xử lý và loại bỏ khí trong vật liệu. Thời gian xử lý có thể giảm xuống 60% đến 80%. Đối với người quản lý nhà máy, đó là một thành tựu lớn. Bạn có thể xử lý nhiều wafer hơn mỗi giờ, mà không cần phải xây dựng một phòng sạch lớn hơn.
Đó không phải là giải pháp hoàn hảo (vẫn có những hạn chế)
Sóng hồng ngoại không phải là giải pháp hoàn hảo cho mọi tình huống. Vì nó chỉ tác động lên bề mặt vật liệu, nên có thể xảy ra tình trạng bề mặt vật liệu đã khô trong khi phần bên trong vẫn còn lạnh.
Để khắc phục điều này, bạn cần chọn đúng bước sóng phù hợp. Bước sóng ngắn rất tốt để tăng tốc độ xử lý, nhưng nếu bạn cần xử lý sâu vào bên trong vật liệu, thì bạn nên sử dụng bước sóng trung bình. Tất cả đều phụ thuộc vào loại vật liệu mà bạn đang xử lý.
Ngoài ra, còn có vấn đề về nhiệt độ. Sóng hồng ngoại tạo ra nhiệt độ rất cao. Nếu bạn thay thế bộ sưởi cũ bằng bộ sưởi sóng hồng ngoại, bạn cần chú ý đến hệ thống làm mát. Nếu hệ thống làm mát không được thiết kế phù hợp, thì các bộ phận bằng kim loại trong lò sưởi có thể bị hư hại do nhiệt độ quá cao.
Làm thế nào để sử dụng phương pháp này hiệu quả?
Tin tốt là việc chuyển sang sử dụng bộ sưởi sóng hồng ngoại khá đơn giản. Bạn chỉ cần tháo bộ phận thổi khí cũ ra, thay thế bằng bóng đèn sóng hồng ngoại.
Sự khác biệt rõ rệt nhất là môi trường xung quanh trở nên yên tĩnh hơn. Không còn tiếng ồn hay sự xáo trộn nào nữa. Việc ít không khí di chuyển giúp tạo ra môi trường sạch hơn cho các linh kiện.
Bạn có thể lấy các linh kiện ra nhanh hơn, và các wafer cũng sẽ được bảo vệ tốt hơn. Đó là cách làm việc hiệu quả hơn.