Kimyasal temizleme işleminin ardından MEMS sensör waflarını kurutmak oldukça zorlu bir süreçtir. Neden mi? Çünkü bu işlem adeta ateşle oynamak gibidir. Havadaki yanıcı veya patlayıcı kimyasal buharlar nedeniyle, standart kızılötesi lambalar sadece bir araç değil, aynı zamanda bir tehlike kaynağıdır. Eğer bir kıvılcım ya da ısı kaynağı olursa, büyük bir yangın çıkabilir. Bu durum, tesis yöneticilerini geceleri uykusuz bırakan korkunç bir senaryodur.
Kıvılcımları engelleme
Açık alanlarda kullanılan lambalara güvenmemeye karar verdik. Bunun yerine, kuvars tüpü kimyasallara dayanıklı bir kılıfın içine yerleştirdik. Bunu bir koruyucu kalkan olarak düşünebilirsiniz. Bu sayede elektriksel temas noktaları havadan tamamen izole edilmiş olur. Böylece bu uçucu organik bileşikler enerjili pinlere yaklaşamaz.
Ancak genellikle sızdırmazlık elemanları bozulur; çatlar, sızdırır veya işlevini yitirir. Bunu önlemek için yüksek sıcaklığa dayanıklı floroelastomer contalar kullanıyoruz. Bunlar sürekli ısınma ve soğuma koşullarına rağmen bozulmaz. Ayrıca belirli basınç farkları için de bu contaları seçiyoruz; çünkü eğer sızdırmazlık elemanları bozulursa, buharlar içeri sızar ve bu da kabul edilemez bir durumdur.
Isı dengesi
Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışığı kullanıyoruz. Bu ışık wafer yüzeyine hızla ulaştığı için waferin “tehlikeli bölgede” kalma süresi çok azalır. Wattajı doğru şekilde ayarladığımız için sıvılar hızla buharlaşır, ancak wafer aşırı ısınmaz.
Ancak bir sorun daha var: Lamba kapalı olduğundan, ısı havaya yayılmaz ve içeride kalır. Bu da lambanın daha fazla ısınmasına neden olur. Soğutma sistemlerini ve hava akışını doğru şekilde ayarlamak gerekir; aksi takdirde kuvars parçalanabilir veya sızdırmazlık elemanları bozulabilir.
Uyumluluk
En iyi yanı ise bunların mevcut kurutma modüllerinin yerine kullanılabilmesidir. Isı kaynağı izole olduğundan, tüm cihaz etrafında devasa ve ağır patlamaya dayanıklı kutular yapmanıza gerek kalmaz. Böylece alanınız küçük kalır, atölyeniz düzenli kalır ve ekipmanın patlamayacağını bilmek de rahatlatıcıdır.