Neden eski fırınları bırakıp kızılötesi yöntemini kullanıyoruz?
Uzun süre boyunca yarı iletken üretimi, devasa konveksiyon fırınlarına bağımlı kaldı. Ama dürüst olmak gerekirse, bunlar artık modası geçmiş cihazlar haline geldi. Şimdi ise kızılötesi yöntemine geçiyoruz; bunun en büyük sebebi, bu yöntemin günümüzde herkesin arzuladığı “yeşil” ve kurşunsuz ürünlerin üretimine olanak tanmasıdır.
Konveksiyon fırınlarında sadece sıcak hava kullanılırken, kızılötesi yönteminde elektromanyetik radyasyon kullanılır. Bu radyasyon doğrudan wafer yüzeyine ulaşır; aracı bir unsur yoktur.
Isının doğru yere gitmesi
Konveksiyon fırınlarının nasıl çalıştığını düşünün: Önce hava ısıtılır, ardından bu hava waferi ısıtır. Bu durum enerji israfı demektir. Kızılötesi yöntemi ise böyle değildir. Fotonlar doğrudan fotoresist veya çözücü tabakasına ulaşır ve hemen reaksiyon başlatır. En iyi yanı ise, eskiden yaygın olarak kullanılan o zararlı katkı maddelerinden ve kurşun içeren bileşenlerden vazgeçebilmemizdir.
Bu amaç için genellikle kısa dalga boylu kızılötesi ışınları kullanıyoruz. Çünkü bu ışınlar çok daha güçlüdür. Isı çok hızlı ve yoğun bir şekilde etki ettiği için waferin ısıtma bölgesinde kalma süresi oldukça kısadır. Daha az zaman harcanması demek daha düşük enerji tüketimi demektir. Bu kadar basit.
Zor olan kısım (Mühendislik detayları)
Eski ısıtıcıları çıkarıp yerine kızılötesi lamba takmak mümkün değildir. Bu şekilde işlem yapılırsa cihazlar zarar görebilir. Bu yüzden sağlam bir soğutma sistemi gereklidir. Ayrıca “aşırı ısıtma” sorunu da var. Eğer konveyör bandı çok yavaş hareket ederse, ince waferler zarar görebilir. İdeal sıcaklık profiline ulaşabilmek için güç seviyesini ve konveyör hızını ayarlamak gerekiyor.
Gezegene karşı sorumluluk
Kızılötesi yönteminin avantajı, yanma gazlarının dışarı atılmamasıdır. Isıtıcıdan herhangi bir VOC salınmaz. Kurutma süresini dakikalardan saniyelere indirdiğinizde karbon ayak iziniz de azalır. Bu, enerji tüketimini artıran eski ısıtma sistemlerinin yerine kullanılabilecek mükemmel bir yöntemdir.