Neden temiz oda ortamlarında zorunlu hava akışını kullanan sistemler yerine kızılötesi ısıtıcıları tercih ediyoruz?
Çoğu yarı iletken üretim tesisinde hâlâ zorunlu hava akışı sistemleri kullanılıyor. Bu eski bir yöntemdir: Havadan yararlanarak parçaların ısınması sağlanır. Sorun şu ki bu süreç çok uzun sürüyor. Bu durum, üretim sürecini büyük ölçüde yavaşlatıyor.
Ayrıca, temiz odalarda büyük miktarda hava hareket ettirmek, adeta tozların oraya gelmesine neden olur. Ne kadar fazla hava hareket ettirilirse, silikon yüzeyine o kadar fazla toz düşme riski vardır. İşte bu yüzden kızılötesi ısıtıcıları tercih ediyoruz. Böylece havayı tamamen ortadan kaldırıyoruz.
Beklemenin maliyeti
Zorunlu hava akışı sistemi oldukça yavaştır. Tüm fırının doğru sıcaklığa ulaşmasını beklemek gerekiyor; ardından da bu ısının parçaya nüfuz etmesini beklemek gerekir. Bu oldukça can sıkıcıdır.
Kızılötesi ısıtıcılar ise farklıdır. Elektromanyetik radyasyon kullanarak enerjiyi doğrudan parçaya aktarır. Havanın ısınmasını beklemeye gerek yoktur çünkü hava önemli değildir.
En büyük avantajlar, sertleştirme ve gaz çıkarma işlemlerinde görülür. Kızılötesi ısıtıcılar sayesinde üretim süreleri %60 ila %80 oranında azalabilir. Bir fabrika yöneticisi için bu büyük bir avantajdır. Daha büyük bir alan oluşturmadan saat başına daha fazla wafer üretilebilir.
Mucize değil (bir takım dezavantajları var)
Kızılötesi ısıtıcılar her durum için mükemmel bir çözüm değildir. Yüzeye ilk temas ettiği için “derileşme” sorunu ortaya çıkabilir. Bu durumda parçanın dış kısmı sertleşirken iç kısmı hâlâ soğuk kalır.
Bunu çözmek için dalga boyunu dikkatlice seçmek gerekir. Kısa dalga boyu hız açısından iyidir, ancak malzemenin derinliklerine ulaşmak istiyorsanız orta dalga boyu tercih edilmelidir. Her şey, malzemenin neyi emdiğine bağlıdır.
Ayrıca ısı sorunu da vardır. Kızılötesi ısıtıcılar oldukça yoğun ısı üretir. Eski fırınlara bu ısıtıcıları yerleştirirken soğutma sistemlerine dikkat etmek gerekir. Eğer soğutucular uygun boyutta değilse, yüksek yoğunluktaki kızılötesi ısıtıcılar fırının gövdesini hasara uğratabilir.
İşleri daha kolay hale getirmek
İyi haber şu ki bu geçiş genellikle oldukça basittir. Blower’ları çıkarın, eski elemanları sökün ve yerine kızılötesi lambaları yerleştirin.
Hemen fark edilen şey sessizlik ve hareketsizliktir. Artık titreşim veya türbülans yok. Daha az hava hareketi, çipler için daha temiz bir ortam anlamına gelir.
Parçalar daha hızlı çıkartılabilir ve wafeler daha temiz kalır. Bu, daha iyi bir çalışma yöntemidir.