LCD panel üretiminde önemli olan
LCD fab katında, termal kayma neon bir tabela gibi kendini göstermez. Sadece örtüşme marjını sessizce tüketir, CD uniformitesindeki vidaları sıkar ve fotoresist profillerini hedefin dışına iter. Fırın aşaması, cam üzerinde belirlenen noktayı tutamazsa, bunu hurda alt tabakalarda ve sabit durmayan verimlerde ödersiniz.
Motorun altında ne var
Kısa dalga kuvars vericiler etrafında kızılötesi ısıtıcıyı inşa ettik. Doğrudan enerji transferi, hızlı termal yanıt - ekstra adım yok, gecikme yok. Aktif bölgede, wafer düzeyinde uniformite ±0.1°C içinde kalıyor ve tekrarlanabilirlik milisaniye düzeyine kadar izleniyor. Sistem temiz çalışır: sıfır parçacık üretimi, dış gaz çıkışı yok ve sınıf 1-100 temizlik odalarında sorunsuz çalışır. Sıcaklık kontrolü kapalı döngü ile gerçekleştirilir, yüksek çözünürlüklü algılama ve sıkı güç düzenlemesi ile. Her yumuşak fırın ve sert fırında aynı termal bütçeyi elde etmenin yolu budur, parti parti.
Neden bu, LCD panel üretimine uygundur
LCD alt tabakaları büyük, termal olarak açgözlü ve gradyanlara karşı affetmez. Kızılötesi ısıtıcımız, kontrol edilen, yerel ısıyı tam olarak gerekli yere koyar, böylece termal gecikme düşer ve çevredeki modüllere ekstra ısı boşaltmazsınız. Kazanç açıktır: daha tutarlı fotoresist işleme, daha az yeniden işleme ve sabit kalan kritik boyut kontrolü. Enerji kullanımı düşer çünkü verici talep üzerine ısınır ve hızlı soğur. Güvenilirlik, 24/7 çalışmaya uygun şekilde tasarlanmıştır ve duraksamalar, planlayabileceğiniz türden tutulur.
Atlayamayacağınız pratik detaylar
Isıtıcı temiz bir şekilde entegre edilir, ancak alt tabaka yolu ve boşluklar için hizalama titizdir. Radyant dağılım ve servis erişimi için alan bırakın - bu köşeleri kesmeyin. Entegrasyon sırasında makine arayüzünüzü ve konektör spesifikasyonunu doğrulayın ve gerçek alt tabaka boyutlarınız için termal haritalama planlayın. Kurulumu doğru yaparsanız, ilk partiden sonraki tüm partilere kadar kararlı fırın profilleri ve tekrarlanabilir litografi performansı göreceksiniz.