На линиях с длиной волны 300 мм достаточно лишь полуградусного отклонения температуры во время процедуры нагрева, чтобы критические размеры изделий вышли за пределы допустимых значений. Это приводит к тому, что большое количество пластин приходится утилизировать. Лампы для нагрева с использованием сверхчистой воды не являются просто дополнительными компонентами; они выполняют роль теплового стабилизатора, обеспечивая стабильность процесса обработки фотополимеров в чистых помещениях класса 1–100.
Мы разработали эту лампу с использованием коротковолнового инфракрасного излучения, которое эффективно используется для нагрева воды. Благодаря этому происходит быстрый нагрев без образования точек с высокой температурой. Температурная однородность по всей длине пути потока жидкости сохраняется на уровне ±0,1°C. Это позволяет гарантировать стабильность параметров процесса нагрева при каждой серии производства. Конструкция лампы, включающая кварц и материалы, устойчивые к коррозии, позволяет полностью исключить образование частиц и обеспечивает возможность непрерывной работы под воздействием сверхчистой воды.
Работоспособность лампы остается стабильной на протяжении более 5 000 часов, при этом уровень интенсивности излучения снижается менее чем на 5%. Лампа предназначена для круглосуточной работы без перерывов.
В процессе литографии требуется строгое соблюдение температурных параметров во время процедур нагрева. Эта лампа обеспечивает стабильную температуру воды, что позволяет контролировать размеры изделий с высокой точностью. Это снижает количество необходимых переработок и уменьшает количество бракованных изделий.
Кроме того, снижается потребление энергии. Лампа нагревается только при необходимости, поэтому нет потерь энергии во время простоя. Длительный срок службы лампы также позволяет сократить время её обслуживания.
Существует ещё один важный момент: лампа имеет компактные размеры, поэтому её необходимо правильно расположить относительно пути потока жидкости. Её также необходимо регулярно обслуживать в рамках плановых работ. Не стоит предполагать, что её можно просто подключить к существующей системе — необходимо тщательно проверить возможности её интеграции.
Необходимо также проверить проводимость сверхчистой воды, скорость её потока и совместимость разъемов. Если все эти параметры соответствуют требованиям, то стабильность процесса нагрева будет обеспечена автоматически.