На производственной площадке термический режим, необходимый для литографии, начинается с процедур мягкой и жесткой обработки пластины. Даже небольшое изменение температуры в 1,5°C или наличие «холодных зон» на поверхности пластины может привести к значительным изменениям её критических размеров. Именно поэтому возникает необходимость выбрасывать целые партии готовой продукции и приостанавливать производство.
Мы разработали инфракрасные лампы для высыхания фоторезиста, которые помогают сохранять стабильный термический профиль в течение всего процесса производства.
На самом деле важен контроль на уровне самой пластины. Наш источник НИР-излучения быстро передает энергию прямо в фоторезист, что позволяет поддерживать однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Корпус лампы изготовлен из кварца, а отражатели имеют высокую чистоту; благодаря этому лампа может работать в условиях класса чистоты 1–100 без образования частиц.
Показатели точности выполнения процесса остаются в пределах 0,5% в течение всего времени работы. Замкнутый контроль позволяет поддерживать термический профиль на заданном уровне, без перерасхода энергии.
Этот подход эффективен потому, что он соответствует международным стандартам для оборудования в области полупроводников. Это позволяет получать более точные результаты, сокращать количество необходимых корректировок и уменьшать количество отбракованных изделий.
Потребление энергии снижается, поскольку лампа нагревает только сам фоторезист, а не всю камеру. Мы уже использовали такие лампы в течение более 5 000 часов, и показатель снижения производительности составил менее 5%. Это позволяет сохранять стабильность процесса производства в течение всего времени.
Несколько практических замечаний: лампа совместима со стандартными интерфейсами SEMI и обычными устройствами для обработки пластин. Однако при интеграции в оборудование необходимо учитывать тепловую массу конструкции и путь отвода тепла.
Рекомендуется провести краткий тестовый запуск для настройки параметров лампы под конкретные условия производства. После этого процесс будет под контролем, и производство сможет продолжаться без проблем.