Suszenie płytek senzorów MEMS po czyszczeniu chemicznym to proces pełen niepokoju. Dlaczego? Ponieważ w gruncie rzeczy ma się do czynienia z ogromnym zagrożeniem. Gdy w powietrzu znajdują się lotne lub wybuchowe opary chemiczne, standardowa lampa typu IR staje się nie tylko narzędziem, ale także źródłem ryzyka. Jeden mały iskra lub gorące miejsce na złączach może doprowadzić do pożaru. To prawdziwy koszmar, który sprawia, że menedzerowie fabryk nie mogą spać spokojnie.
Unikanie iskier
Postanowiliśmy przestać polegać na lampach działających na otwartym powietrzu. Zamiast tego umieściliśmy rurkę kwarcową w hermetycznej, odpornej na chemiczne substancje osłonie. Można to uznać za swego rodzaju „ochronny kokon”. On chroni kontakty elektryczne przed oddziaływaniem powietrza z otoczenia. Dzięki temu te lotne związki organiczne nie mogą nawet zbliżyć się do pod napięciem elementów. Zwykle to właśnie uszczelki są problematyczne – pękają, przeciekają itp. Aby temu zapobiec, używamy uszczelek z fluoroelastomerów o wysokiej temperaturze pracy. One mogą wytrzymać ciągłe nagrzewanie i ochładzanie bez straty jakości. Określamy też odpowiednie różnice ciśnień, ponieważ jeśli uszczelka pęknie, opary mogą dostać się do środka. A tego absolutnie nie możemy dopuścić.
Równowaga cieplna
Korzystamy z lamp typu IR o krótkich falach. Takie światło szybko dociera do powierzchni płytki, co oznacza, że płytka spędza znacznie mniej czasu w „strefie zagrożenia”. Ustaliliśmy odpowiednią moc lampy, aby ciecze mogły szybko parować, ale przy tym substrat nie przegrzewał się nadmiernie. Ale jest jeden problem: ponieważ lampa jest hermetyczna, ciepło nie rozprzestrzenia się w powietrzu, jak to happens w przypadku lamp otwartych. Ciepło pozostaje wewnątrz. To oznacza, że lampa pracuje w wyższych temperaturach. Trzeba więc dokładnie dostosować system chłodzenia, inaczej kwarc może ulegnąć uszkodzeniu.
Idealne rozwiązanie
Najlepsze jest to, że te urządzenia mogą zastąpić istniejące moduły suszenia. Ponieważ źródło ciepła jest izolowane, nie trzeba budować ogromnych, nieporęcznych obudów chroniących całą maszynę przed eksplozją. Przestrzeń potrzebna do montażu urządzenia jest minimalna, a sama maszyna nie stanowi zagrożenia. Można więc spać spokojnie, wiedząc, że sprzęt nie eksploduje.