Jak pokonać problem cząstek w pomieszczeniach klasy 100
Jeśli zarządzasz pomieszczeniem klasy 100 w fabryce półprzewodników, zapewne znasz już zasady jego funkcjonowania. Największym problemem jest emisja gazów.
Większość standardowych elementów grzewczych nie nadaje się do użycia w takich warunkach. Gdy tylko osiągną właściwą temperaturę, zaczynają emitować cząstki lub lotne związki organiczne. Jedna mała cząstka lub niewidzialna chmura gazu może zniszczyć Twoje płytki krystaliczne. To frustrujące.
Rozwiązaliśmy ten problem, używając prostego i wysoce czystego rozwiązania: lamp infraczerwonych na bazie kwarcu w połączeniu ze specjalnymi przewodami z Teflonu (PTFE).
Dlaczego to działa?
Do budowy lamp używamy wysokoczystego syntetycznego kwarcu. Powód jest prosty: on nie „dymi” ani nie ulega degradacji przy wysokich temperaturach. Pozostaje nieruchomy i pełni swoją funkcję bez żadnych reakcji.
Co do przewodów – używamy tylko tych pokrytych PTFE. Dlaczego? Ponieważ to jedyne materiały, które nie zamieniają się w pył ani nie emitują gazów pod wpływem wysokiej temperatury. Jeśli spróbujesz użyć PVC lub silikonu, uruchomi się wszystkie alarmy w pomieszczeniu. Ponadto na powierzchni substratu pojawią się zanieczyszczenia. To nie wygląda dobrze.
Trudna część: instalacja
Aby ogrzewanie było skuteczne, musimy utrzymać wszystko w jak najmniejszej odległości od siebie. Chcemy, aby źródło ciepła znajdowało się jak najbliżej celu.
Ale to stwarza problem z nadmiernym nagrzewaniem. Choć PTFE dobrze radzi sobie z ciepłem, nie można po prostu przykleić przewodów bezpośrednio do kwarcu – to doprowadzi do ich stopienia. Potrzebna jest mała przerwa powietrzna lub ceramiczny element, który da przewodom trochę miejsca na oddychanie.
Musimy też uważać na moc ogrzewania. Może się wydawać atrakcyjne zwiększenie mocy, aby szybciej osiągnąć pożądaną temperaturę, ale to ryzykowne. Zbyt duża moc powoduje nadmierny nacisk na uszczelki kwarcowe.
Podsumowanie dla Twojej pracy
W końcu chcesz mieć takie rozwiązanie grzewcze, które będzie sprawdzało się bez dodatkowych problemów. Dzięki temu podejściu uzyskujesz rozwiązanie, które idealnie pasuje do Twoich potrzeb. Brak cząstek, brak dziwnych oparów… Twoja produktywność pozostaje wysoka, a co najważniejsze, czujniki przestają reagować niepotrzebnie.