Stop de scherven: behoud de veiligheid van je wafers tegen defecte lampen
In een productielijn voor halfgeleiders is het een groot probleem wanneer een infraroodlamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om het vervangen van de lamp, maar ook om de chaos die hierdoor ontstaat.
Wanneer een kwartsbuis kapotgaat bovenop de wafertrolley, vallen er glasfragmenten en metalen oxide-deeltjes op de producten. Hierdoor moeten de producten direct worden weggegooid. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen.
Waarom buizen eigenlijk kapotgaan
Meestal komt het door thermische schokken. Als er te veel stroom wordt geleid door een te dunne buis, kan het glas de spanning niet aan. Hierdoor breekt de buis.
Om dit te voorkomen, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge kwaliteit. Dit materiaal kan de extreme temperatuurschommelingen doorstaan. Hierdoor kunnen de buizen beter tegen drukken, zonder dat ze kapotgaan.
Een extra veiligheidsmaatregel
Maar we vertrouwen er niet alleen op dat het glas het wel houdt. Dat is namelijk een risico. In plaats daarvan gebruiken we een beschermend schild. Denk erbij aan een fysieke barrière. Als de lamp toch kapotgaat, vangt het schild de scherven op, zodat ze niet op de wafers terechtkomen.
We hebben ook gekeken naar de elektrische kant van de zaak. Veel buizen gaan kapot door losse verbindingen die tot overmatige hitte leiden. We hebben deze vervangen door precisieverbindingen en stabiele draden. Nu zijn er geen abnormale temperatuurschommelingen meer, waardoor er geen stressfracturen meer optreden.
De realiteit van hoge vermogens
Je wilt natuurlijk lampen met hoge vermogens, omdat ze snel opwarmen en dit resulteert in een hogere productiecapaciteit. Maar er is een nadeel: hoger vermogen zorgt voor meer druk in de buis. Hier speelt de luchtcirculatie een belangrijke rol. Als de koelfans stoppen of als er iets de luchtstroom belemmert, zal de temperatuur in de buis te hoog worden.
Het beschermende schild helpt, maar de beste manier om de lampen langer te laten meegaan, is door de luchtcirculatie in stand te houden. Op deze manier voorkom je veel problemen.