Het stoppen van de “glasregen”: een betere manier om fouten van infraroodlampen te voorkomen
In een systeem met hoge belastingen is het kapotgaan van een lamp geen klein probleem – het is een nachtmerrie. Wanneer een kwartsbuis barst, heeft men te maken met brokstukken en chemische stoffen die op de wafer terechtkomen. Dit soort vervuiling kan ervoor zorgen dat een hele partij wafern in een paar seconden beschadigd raakt.
Wij bouwen onze infraroodverwarmers zodat dit niet gebeurt.
Het behouden van de orde
Hier is hoe wij dit aanpakken: we wikkelden het verwarmende element in een speciale beschermende coating. Denk hierbij aan een soort ‘veiligheidsnet’. Als de kwartsbuis barst, blijven de brokstukken vastzitten. Geen glasregen, geen beschadigde waferen.
We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid, omdat dit materiaal goed kan omgaan met scherpe temperatuursschommelingen. Maar eerlijk gezegd kan zelfs het beste kwarts breken onder te veel druk. Het is beter om hierop voorbereid te zijn.
Het beheren van de hitte en de spanning
De meeste lampen gaan kapot omdat ze te heet worden. Om dit te voorkomen, gebruiken we precies afgestemde thermocouplers die ons in real-time informeren over de temperatuur. Door de PID-regeling goed af te stemmen, houden we de temperatuur van het filament binnen veilige grenzen.
Nog één tip: controleer uw voedingsbron. Spanningsschokken kunnen een lamp onmiddellijk kapotmaken. We raden altijd aan om speciale regelaars te gebruiken om deze schokken weg te houden van de filamenten.
De prijs die je moet betalen
Eerlijk gezegd kost het gebruik van deze beschermende coatingen wat meer energie. Je zult wellicht een daling van 5-10% zien in de hoeveelheid warmte die de wafer bereikt. Maar eerlijk gezegd is dat een prijs die het waard is. Je geeft iets minder warmte op, maar je hebt daardoor zekerheid dat je schone ruimte echt schoon blijft. Dat is beter dan dat je een hele partij wafern kwijtraakt.
De laatste veiligheidsmaatregel
Als je echt veilig wilt zijn, moet je deze apparaten aansluiten op een systeem met automatische uitschakeling. Als de thermocoupler een plotselinge temperatuurdaling detecteert – een teken dat de lamp is gebarsten – zal het systeem onmiddellijk de stroom uitschakelen. Dit voorkomt dat er een elektrisch vuur ontstaat dat de rest van de verwarmer beschadigt.