Voorkom dat uw IR-lampen uw wafers beschadigen
Als u ooit te maken hebt gehad met een lamp die plotseling kapotging tijdens een proces met hoge belastingsniveaus, weet u hoe vervelend dat is. Het gaat niet alleen om de stilstand die hierdoor ontstaat, maar ook om de chaos die dit met zich meebrengt. Stukjes kwarts en halogengas die op het silicium terechtkomen, vormen een nachtmerrie. Eén explosie kan al zorgen voor secundaire besmettingen, waardoor hele batches verloren gaan. Het is een kostbare fout die echter gemakkelijk voorkomen kan worden. We hebben onze precisielampen zo ontworpen dat dit niet gebeurt.
Het afvangen van de schade
We rekenen er niet alleen op dat de lamp het uithoudt. We gebruiken een dubbellaags systeem. De verhittingscomponent bevindt zich namelijk in hoogzuiver synthetisch kwarts. Maar daarmee stoppen we niet. Er wordt ook een beschermend omhulsel rondom de lamp geplaatst. Denk hierbij aan een soort veiligheidsnet. Als de binnenste lamp kapotgaat, vangen de fragmenten dit op. U moet natuurlijk wel een nieuwe lamp kopen, maar uw wafers blijven dan schoon. Dat is een prijs die ik graag betaal.
Omgaan met de hitte
De meeste defecten worden veroorzaakt door ‘hot spots’ of plotselinge thermische schokken. In feite wordt de lamp overbelast. Om dit te voorkomen, zijn onze filamenten zo ontworpen dat ze de hitte gelijkmatig verspreiden. Er zijn geen stresspunten meer. We hebben ook de aansluitingen versterkt. Ze zijn zo ontworpen dat ze zich kunnen uitrekken en samentrekken tijdens de snelle temperatuurschommelingen, zonder te barsten onder druk.
De prijs die u moet betalen
Er is echter één nadeel: het gebruik van een beschermend omhulsel zorgt voor een fysieke barrière. Hierdoor neemt de directe IR-transportcapaciteit iets af vergeleken met een gewone lamp. U kunt mogelijk de vermogenssterkte of de tijd die de lamp nodig heeft om op temperatuur te komen, moeten aanpassen. Het is een kleine prijs om een catastrofale situatie te voorkomen.
Een paar tips voor de installatie
Let goed op uw PID-regelaars wanneer u de lampen installeert. Stel ze zo in dat ze niet te ver gaan. Hoge spanningsschommelingen kunnen de levensduur van de lamp snel verkorten. Vergeet ook de luchtcirculatie niet. Zorg ervoor dat de koeling overeenkomt met de vermogenssterkte van de lamp. Anders kunnen de aansluitingen smelten onder hoge belastingen. Dat is zeker geen probleem dat iemand wil hebben.