Op de productielijn begint de klok te tikken zodra de chip het reinigingsbad verlaat. Restvocht is een groot probleem: er ontstaan snel vlekken, en één watervlek kan al tot defecten in de productielijn leiden. Je kunt het je niet veroorloven om een warmtebron te gebruiken die pas reageert wanneer de gewenste temperatuur wordt bereikt. Je hebt juist een warmtebron nodig die deze temperatuur constant behoudt, op alle plekken op de chip.
Wat technisch gezien belangrijk is
We hebben de industriële drogers voor chips ontworpen met behulp van kortegolfinfrarode elementen en kwarts-halogeenlampen, in combinatie met warmtekernen van koolstofvezel. De reden hiervoor is simpel: snelle reactietijd en stabiele prestaties. De temperatuurverschillen over de hele chip zijn minder dan ±0,1°C, zodat de vereiste temperaturen voor het verwerken van fotoresisten worden gehandhaafd.
De compatibiliteit met zuiverruimten van klasse 1–100 is al vanaf het begin in het ontwerp opgenomen. We gebruiken materialen die weinig gassen afgeven, een luchtcirculatie die goed werkt samen met HEPA-filteren, en er wordt geen stof gegenereerd tijdens het gebruik van de warmtebron. Het systeem werkt 24/7, en onze MTBF-waarden geven aan dat er geen onplanmateriële stilstand optreedt tijdens normale werktijden. De herhaalbaarheid wordt gewaarborgd door gebruik te maken van gesloten-luspyrometrie en PID-besturing.
Waarom dit in de praktijk werkt
Bij het drogen van chips gaat het niet alleen om het drogen van de chips zelf. Het gaat ook om nauwkeurige procescontrole. Een constante temperatuur verminderd defecten in de fotoresisten, verbetert de controle over de dikte van de lijnen en verhoogt de productiviteit. Snelle opwarmtijd verkort de productietijd zonder dat de kwaliteit van het product wordt aangetast. Stabiele temperatuurwaarden zorgen er bovendien voor dat er minder defecten en herwerkzaamheden nodig zijn.
Doordat de warmtebronnen specifiek zijn ontworpen om NIR-straling te gebruiken, blijft de energieverbruik laag. De lange levensduur van de lampen en het modulaire ontwerp zorgen voor minder onderhoudskosten. Hierdoor wordt er consistente output behaald, blijft de apparatuur betrouwbaar en zijn er minder stilstandsuren.
Wat je moet weten
Deze warmtebronnen passen in SEMI-compatible platforms en retrofitkits. Toch moet je tijdens de installatie nog controleren of alles goed is afgesteld en of er geen problemen zijn met de thermische verbindingen. Plan een korte testperiode in om de PID-instellingen af te stemmen op de massa van de kamer en de luchtcirculatie.
Het systeem werkt ook in zuiverruimtes met hoge luchtvochtigheid. Toch moet je regelmatig de lampen controleren en gebruikmaken van filters van hoogwaardige kwaliteit. Op deze manier blijft het aantal deeltjes en de stabiliteit van de output hoog, zelfs na meer dan 5.000 uur gebruik.