Mengapa kita meninggalkan penggunaan udara terpaksa dan beralih ke pemanas inframerah di bilik bersih
Kebanyakan kilang pengeluaran semikonduktor masih menggunakan kaedah pemanasan melalui udara terpaksa. Ini merupakan cara lama; udara dipanaskan terlebih dahulu, kemudian diharapkan udara tersebut dapat memanaskan komponen yang ingin diproses. Masalahnya adalah proses ini memerlukan masa yang sangat lama. Selain itu, pergerakan udara yang banyak dalam bilik bersih sebenarnya akan membawa debu ke kawasan yang ingin diproses. Semakin banyak udara yang bergerak, semakin tinggi risiko debu melekat pada permukaan silikon. Itulah sebabnya kita beralih kepada pemanas inframerah. Dengan cara ini, kita tidak perlu menggunakan udara sama sekali.
Kos menunggu yang tinggi
Penggunaan udara terpaksa memerlukan masa yang lama. Anda perlu menunggu sehingga seluruh ruang pembakar mencapai suhu yang sesuai, dan kemudian menunggu lagi agar haba tersebut sampai ke komponen yang ingin diproses. Proses ini sangat membuang masa.
Sebaliknya, pemanas inframerah menggunakan sinaran elektromagnetik untuk menghantar tenaga secara langsung ke komponen yang ingin diproses. Anda tidak perlu menunggu udara menjadi panas, kerana udara sendiri tidak penting.
Kelebihan utama penggunaan pemanas inframerah adalah masa yang diperlukan untuk memproses komponen dapat dikurangkan sebanyak 60% hingga 80%. Bagi pengurus kilang, ini merupakan keuntungan yang besar. Anda boleh memproses lebih banyak wafer setiap jam tanpa perlu membina bilik yang lebih besar.
Bukanlah penyelesaian sempurna
Namun, pemanas inframerah bukanlah penyelesaian yang sempurna untuk segala masalah. Kerana sinaran inframerah sampai ke permukaan terlebih dahulu, komponen tersebut mungkin akan mengeras di bahagian luar, sementara bahagian tengahnya masih sejuk. Untuk mengatasi masalah ini, anda perlu memilih panjang gelombang yang sesuai. Panjang gelombang pendek sangat baik untuk kelajuan pemprosesan, tetapi jika anda ingin memproses komponen yang lebih dalam, anda perlu menggunakan panjang gelombang sederhana. Semuanya bergantung pada bahan yang digunakan.
Selain itu, haba yang dihasilkan oleh pemanas inframerah juga sangat tinggi. Jika anda menggunakan pemanas ini dalam oven lama, anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, haba yang tinggi boleh merosakkan struktur oven tersebut.
Cara melaksanakannya
Berita baiknya adalah proses peralihan ini biasanya mudah sahaja. Anda hanya perlu mengeluarkan blower lama, memasang lampu inframerah sebagai gantinya. Perbezaan yang ketara ialah suasana di dalam bilik menjadi lebih tenang, tiada getaran atau gangguan udara. Ini memastikan persekitaran yang lebih bersih untuk komponen semikonduktor.
Komponen yang diproses dapat dikeluarkan dengan lebih cepat, dan wafer juga tetap bersih. Ini merupakan cara yang lebih baik untuk bekerja.