반도체 제조 공장에서 에너지를 낭비하는 것을 그만두세요.
솔직히 말해서, 반도체 제조 공장에서 에너지가 낭비되는 것은 단순한 비용 문제가 아닙니다. 그것은 설계상의 결함입니다.
웨이퍼를 가열할 때, 단순히 높은 온도를 만드는 것만으로는 충분하지 않습니다. 그 광자들이 실제로 실리콘에 도달해야 합니다. 하지만 종종 에너지의 상당 부분이 기계의 케이스 안으로 새어나가서 방 전체가 뜨거워집니다. 이때 금으로 코팅된 반사체가 필요합니다. 이 반사체는 마치 거울처럼 작용하여 에너지를 다시 원래의 위치로 보내줍니다.
왜 금을 사용하는가?
일반적인 석영 램프는 에너지를 사방으로 방출합니다. 그래서 열이 흩어져 버립니다. 대부분의 열은 기계의 내부 부품에 닿아서 그대로 낭비됩니다.
반면, 박막 형태의 금 코팅을 사용하면 표면이 에너지를 어떻게 처리하는지가 달라집니다. 금은 적외선을 반사하는 데 매우 효과적입니다. 알루미늄이나 연마된 강철보다 훨씬 뛰어납니다. 넓게 퍼진 열을 집중된 빔으로 변환시켜줍니다. 그 결과 더 많은 에너지를 얻으면서도 낭비는 줄어듭니다.
단점도 있습니다.
이렇게 에너지를 집중시키면 상황이 더욱 격렬해집니다. 목표 온도에 도달하는 속도가 빨라지는 반면, 램프에 가해지는 부담도 커집니다. 만약 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않거나 이러한 열 부하에 견딜 수 없다면, 램프가 손상될 수 있습니다. 고밀도 배열로 램프를 설치하기 전에 반드시 공기 흐름을 확인하세요. 그러면 나중에 골칫거리를 피할 수 있습니다.
사용 방법
좋은 점은, 이 램프들은 일반적인 적외선 히터를 대체할 수 있다는 것입니다. 기존의 컨트롤러에 연결하기만 하면 됩니다.
다만 주의해야 할 점이 있습니다. 금 코팅 때문에 기계가 주변의 열을 흡수하지 못하게 되므로, 기계의 열 분포가 달라질 수 있습니다. 온도가 너무 높아지지 않도록 PID 설정을 조절해야 할 수도 있습니다.
간단한 교체 과정입니다. 그리고 이 방법을 통해 웨이퍼에 전혀 도달하지 못하는 전기 요금을 절약할 수 있습니다.