MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 과정은 매우 위험한 작업입니다. 왜냐하면 이는 마치 불과 싸우는 것과 같기 때문입니다. 공기 중에 인화성이 있거나 폭발성인 화학물질의 증기가 남아 있는 상태에서는, 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라...