半導体製造工場での無駄なエネルギー消費を止めよう
正直に言えば、半導体製造工場でのエネルギーの無駄遣いは、単なるコストの問題だけではありません。それは設計上の欠陥です。
ウェーハを加熱するとき、単に「高温になる」だけで十分ではありません。光子が実際にシリコンに当たる必要があります。しかし、多くの場合、そのエネルギーの大部分が機械のケース内に漏れてしまい、製品ではなく部屋が暖められてしまいます。ここで役立つのが金メッキされた反射板です。これらはまるで鏡のように機能し、エネルギーを元の場所に戻すのです。
なぜ金を使うのか？
通常のクォーツランプは、エネルギーをあちこちに放出してしまいます。その結果、ほとんどのエネルギーが内部のケースに当たり、無駄になってしまいます。
一方、薄膜状の金メッキを使えば、表面がエネルギーをどのように扱うかが変わります。金は赤外線を反射する能力に優れており、アルミニウムや研磨された鋼よりもはるかに効果的です。広範囲に散乱する熱源を集中したビームに変えることができるのです。そうすれば、より多くのエネルギーを得られ、無駄も減ります。
デメリットもある
このようにエネルギーを集中させると、状況は過酷になります。目標温度に到達するのが速くなる反面、ランプにかかる負荷も増えます。冷却システムが不十分だったり、このような高い熱負荷に対応できない場合、フィラメントが壊れてしまう可能性があります。高密度の配列で使用する前に、必ず空気の流れを確認してください。そうすれば、後でトラブルを避けることができます。
実際の使用方法
良いことに、これらは従来のIRヒーターの交換用部品として使えます。既存のコントローラーに接続するだけで、ほぼ問題なく使用できます。
ただし、注意点があります。金メッキによって機械が周囲の熱を吸収しなくなるため、熱分布が変わってしまいます。温度が制御範囲を超えないように、PID制御を少し調整する必要があるかもしれません。
簡単な交換作業です。そして、ウェーハに全く届かない電力代を節約できます。