Nella sala di produzione, il conto alla rovescia inizia nel momento in cui il wafer esce dalla vasca di pulizia. L’umidità residua rappresenta un...

Su una linea da 300mm, la cottura del fotoresist è il momento in cui si definisce il budget termico. Un bordo troppo caldo o troppo freddo, una...

Sulla linea di litografia, si accende la luce del forno, si solleva la campana e si aspetta che il wafer raggiunga il setpoint. Non “vicino”. Il...