Sur la ligne de 300 mm, une déviation de température de demi-degré pendant le processus de cuisson suffit à faire sortir les dimensions critiques des spécifications requises – ce qui entraîne la perte d’un grand nombre de wafers. Ces lampes de chauffage utilisant de l’eau ultra-pure ne sont pas des accessoires supplémentaires : elles constituent en fait un élément essentiel pour maintenir une température constante dans les salles propres de classe 1–100.
Nous avons conçu cette lampe pour utiliser des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, ce qui permet un chauffement rapide et uniforme du fluide, sans zones chaudes. La uniformité thermique reste inférieure ou égale à ±0,1 °C, ce qui garantit que les paramètres de cuisson restent stables d’un cycle à l’autre. Sa construction, basée sur du quartz et des composants résistants à la corrosion, empêche toute formation de particules et permet une utilisation continue dans des conditions de haute pureté.
La puissance de sortie reste stable pendant plus de 5 000 heures, avec une baisse d’intensité inférieure à 5 %. Ce dispositif est conçu pour fonctionner 24h/24, sans interruption inutile.
En lithographie, le processus de cuisson exige une contrôle thermique très précis. Cette lampe permet de contrôler parfaitement la température de l’eau utilisée pour chauffer les wafers, ce qui garantit une qualité constante d’impression, moins de reprises et donc moins de déchets.
L’utilisation d’énergie est également réduite : les ondes infrarouges agissent uniquement lorsque c’est nécessaire, ce qui évite toute perte d’énergie inutile. De plus, la longue durée de vie de la lampe permet de planifier facilement les interventions de maintenance.
En pratique, cette lampe est compacte et doit être alignée correctement par rapport au flux de liquide. Elle nécessite également des entretiens réguliers. Ne supposez pas qu’elle puisse être utilisée directement avec des équipements existants : il est nécessaire de vérifier son intégration avant utilisation.
Vérifiez la conductivité de l’eau, son débit et la compatibilité des connecteurs. Lorsque ces paramètres sont corrects, la répétabilité désirée est garantie, sans avoir besoin de corriger quoi que ce soit après coup.