Arrêter le cauchemar des particules dans les salles propres de classe 100
Si vous gérez une salle propre de classe 100 pour une usine de semi-conducteurs, vous connaissez déjà les problèmes liés à cet environnement. Le plus grand problème est l’émission de gaz toxiques. La plupart des éléments chauffants standards sont inutilisables dans de telles conditions : dès qu’ils atteignent la température de fonctionnement, ils commencent à libérer des particules ou des composés organiques volatils. Une seule petite particule suffit pour détruire vos wafer. C’est frustrant.
Nous avons résolu ce problème en utilisant une combinaison simple mais efficace : des lamps infrarouges en quartz de haute pureté, associées à des fils en Téflon (PTFE).
Pourquoi ça marche ?
Nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour construire les enveloppes des lampes. La raison est simple : il ne produit aucune fumée et ne se détériore pas lorsqu’il fait chaud. Il reste donc en place et continue à fonctionner sans réagir à rien.
Quant aux fils électriques, nous utilisons uniquement des fils recouverts de PTFE. Pourquoi ? Parce que c’est le seul matériau qui ne se désintègre pas en poussière ni ne libère de gaz sous l’effet de la chaleur. Si vous essayez d’utiliser du PVC ou du silicone, vous activerez tous les systèmes d’alerte de la salle propre. De plus, vos substrats seront contaminés. Ce n’est pas bon signe.
La partie difficile : l’installation
Pour que le système de chauffage fonctionne correctement, il faut que tout soit bien organisé. Nous voulons que la source de chaleur soit le plus proche possible du point visé. Mais cela pose un problème : la chaleur pourrait endommager le quartz. Même si le PTFE résiste bien à la chaleur, on ne peut pas poser les fils directement sur le quartz. Il faut donc créer un espace d’air entre les fils et le quartz.
De plus, il faut veiller strictement au niveau de puissance utilisé. Il est tentant d’augmenter la puissance pour accélérer le processus de chauffage, mais c’est risqué. Trop de puissance endommage les joints en quartz.
En résumé
En fin de compte, vous voulez simplement un système de chauffage qui fonctionne sans compliquer les choses. Avec cette méthode, vous obtenez une solution efficace : pas de particules, pas de fumées étranges, et pas d’augmentation soudaine des particules. Votre taux de productivité reste élevé, et surtout, vos capteurs restent calmes.