Arrêtez que vos lampes IR ne ruinent pas vos wafer
Si vous avez déjà eu affaire à une lampe qui a explosé au milieu d’un traitement à forte charge, vous savez ce que c’est. Ce n’est pas seulement le temps d’arrêt qui est problématique : c’est aussi le désordre qu’une telle situation crée. Les éclats de quartz et le gaz halogène qui tombent sur les wafer en silicium représentent un véritable cauchemar. Un seul incident suffit pour provoquer une contamination secondaire, ce qui peut détruire toute une série de wafer. C’est une erreur coûteuse, mais qui est en réalité facile à éviter. Nous avons conçu nos lampes IR de précision justement pour empêcher cela.
Maintenir les débris à leur place
Nous ne comptons pas simplement sur la résistance de la lampe. Nous utilisons une structure à double couche. L’éлемент de chauffe se trouve à l’intérieur de quartz synthétique de haute pureté, mais nous ne nous arrêtons pas là. Nous ajoutons également un revêtement en quartz ou un boîtier protecteur autour de lui. Cela agit comme un filet de sécurité : si la lampe intérieure tombe en panne, le revêtement empêche les éclats de se disperser. Bien sûr, il faudra remplacer la lampe endommagée, mais vos wafer resteront propres. C’est un compromis que j’accepterais volontiers.
Gérer la chaleur
La plupart des explosions surviennent à cause de « points chauds » ou de chocs thermiques soudains. En fait, c’est la lampe elle-même qui subit trop de pression. Pour y remédier, nous concevons nos filaments de manière à répartir uniformément la chaleur. Plus de points de tension. Nous avons également renforcé les joints des lampes. Ils sont conçus pour s’étendre et se contracter lors des cycles rapides, sans se briser sous la pression.
Le compromis à accepter
Voici le point négatif : l’ajout d’un revêtement protecteur crée une barrière physique qui entrave la transmission des rayons infrarouges. Par conséquent, vous perdez un peu de la transmission directe des rayons infrarouges, par rapport à une lampe sans revêtement. Il vous faudra peut-être augmenter la puissance de la lampe ou ajuster le temps de traitement pour atteindre la température souhaitée. C’est un petit prix à payer pour éviter des nettoyages coûteux.
Quelques conseils pour l’installation
Lorsque vous installez ces lampes, veillez bien à contrôler vos régulateurs PID. Il faut les régler de manière à ce qu’ils ne dépassent pas leurs limites. De fortes fluctuations de tension accélèrent la destruction de la lampe. N’oubliez pas non plus l’aération : assurez-vous que le système de refroidissement soit adapté à la puissance de la lampe. Sinon, les connecteurs peuvent fondre lors de pics de charge, ce qui est un problème que personne ne veut rencontrer.