Le séchage des wafer de capteurs MEMS après un nettoyage chimique est un processus extremement délicat. Pourquoi ? Parce que c’est comme jouer avec du feu. Lorsque des vapeurs chimiques inflammables ou explosives sont présentes dans l’air, une lampe infrarouge classique n’est pas seulement un outil : c’est aussi une source de danger. Une petite étincelle ou un point chaud sur un connecteur exposé suffit pour provoquer un incendie. C’est un scénario cauchemardesque qui empêche les responsables des usines de dormir tranquille.
Éviter les étincelles
Nous avons décidé de ne plus utiliser des lampes installées à l’air libre. Au lieu de cela, nous avons placé le tube en quartz à l’intérieur d’un boîtier hermétique et résistant aux produits chimiques. On peut considérer cela comme un cocon protecteur qui isole complètement les contacts électriques de l’air ambiant. Ainsi, les composés organiques volatils ne peuvent même pas s’approcher des broches électriques. En général, ce sont les joints qui lâchent : ils se fissurent, fuitent ou tombent en panne. Pour y remédier, nous utilisons des joints en fluorélastomère capable de résister aux variations de température sans se détériorer. Nous choisissons également ces joints en fonction des différences de pression possibles, car si les joints lâchent, les vapeurs peuvent pénétrer à l’intérieur. Et ça, nous ne pouvons pas le permettre.
L’équilibre thermique
Nous utilisons des lampes à ondes courtes. Elles atteignent rapidement la surface du wafer, ce qui signifie que celui-ci passe beaucoup moins de temps dans cette « zone dangereuse ». Nous avons ajusté la puissance de la lampe de manière à ce que les liquides s’évaporent rapidement, sans que le substrat ne surchauffe. Mais il y a un problème : puisque la lampe est hermétique, la chaleur ne s’échappe pas dans l’air comme c’est le cas avec une lampe ordinaire. Elle reste donc piégée à l’intérieur. Cela signifie que la lampe chauffe davantage. Il faut donc bien régler les systèmes de refroidissement, sinon le quartz ou les joints risquent de se briser à cause de la chaleur excessive.
Adaptation aux besoins
Le meilleur aspect ? Ces dispositifs sont conçus pour remplacer directement vos modules de séchage existants. Comme la source de chaleur est isolée, vous n’avez pas besoin de construire une boîte massive et encombrante pour protéger toute l’équipement. La taille de l’équipement reste réduite, l’espace de travail reste libre, et vous pouvez enfin respirer plus facilement, sachant que l’équipement ne risque pas d’exploser.